판매용 중고 SUNRED SRD-TH-091127 #9155398

SUNRED SRD-TH-091127
ID: 9155398
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2010
Alloy furnace, 6" Manual loader 380V, 15 KVA 2010 vintage.
SUNRED SRD-THH-091127 (SUNRED SRD-THH-091127) 은 반도체 산업에 사용되는 기판에 고온 균일 한 열을 제공하도록 설계된 확산 로와 함께 제공되는 액세서리입니다. 박막 반도체 웨이퍼를 음운하고 가공하는 데 이상적인 대형 인테리어 챔버 (Interior Chamber) 를 갖춘 무거운 듀티, 산업 등급 구조가 특징입니다. 확산 로는 최대 1200 ° C의 총 측정 범위로 독립적으로 작동하는 2 개의 온도 영역을 제공합니다. 냉각 개선을위한 헬륨 냉각 재킷 (helium cooling jacket) 을 포함하여 공기 또는 수냉식 시스템과 결합 된 3 개의 파이프 저항 난방 요소가 장착되어 있습니다. 이는 정확한 온도를 유지하면서 제품의 빠르고 안전한 처리를 보장합니다. 확산 로에는 2 개의 쿼츠 유리로 챔버, 정확한 매개변수 제어를위한 내장 제어 캐비닛, 디지털 전자 PID 온도 제어가 포함됩니다. 또한 제품의 추가 보호를 위해 선택적인 thermocouple 및 multi-zone 난방 요소가 있습니다. 이를 통해 프로세스 정확성과 안전성이 향상됩니다. SRD-THH-091127 확산 로에는 편리한 용도로 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 가스 공급 및 배기 시스템은 시스템을 안전하고 효율적으로 작동시킵니다. 또한 자동 개방/닫기 게이트 밸브, 웨이퍼 로더 및 섬세한 웨이퍼 처리를위한 특수 웨이퍼 리시버가 포함됩니다. 웨이퍼 로더 (Wafer Loader) 와 고품질 진공 시스템은 열 스트레스를 줄이고 움직임을 최소화하여 제품의 정확성을 유지하도록 설계되었습니다. 또한, 챔버에는 실시간으로 웨이퍼 처리를 볼 수있는 고온 관측 구멍이 있습니다. 편의상, 용광로에는 측정을 쉽게 할 수 있도록 챔버 벽에 교정 점 (calibration point) 이 표시됩니다. SUNRED SRD-THH-091127 확산 로는 작동 및 유지 보수가 용이하며 빠르고 효율적인 음운화 및 반도체 처리에 적합합니다. 견고 한 구조 와 견고 한 특징 을 지닌 "확산 로 '는 여러 가지 산업 응용 분야 에 이상적 이다.
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