판매용 중고 SOPARA CA45586/12 #9213782
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ID: 9213782
빈티지: 2005
RTP Furnace
Includes:
One set of (2) cassettes IRC infrared short 60 unit Kw - 400 V sorting phase
Cage annealing double-glazed, waterproof
Power 120 kW - 400 V electric cabinet three-phase
Thermal:
Tapes IRC:
(20) Transmitters IRC 3000 W - 400 V with reflector plan in silicate
(2) Fans helicoidaux 890 m3/h
3 Taken withdrawable 16-pole 16 A (for the power)
Cassette upper:
Measurement of temperature by optical pyrometer IRCON
Cassette power supply cables: Connected to cabinet through 3 plug-in sockets
Electric cabinet of power:
Cabinet allows control and power distribution of (2) cassettes IRC
Phase 400 volts + earth
Power total installed: 120 kW
Electric control cabinet is made up front of: Handle to the right
White: Led under voltage
Red: Light fan fault
Green: Breakdown
Regulator EUROTHERM 3508
BP Red: Stop cycle
BP to light green: Start cycle
BP Yellow: Release
Red BP: Decommissioning
BP to light green: Putting into service
Switch to positions: Program 1/2
Stop of emergency
Set to service: Cabinet on the sector 400v Tri
Reflector silicate: Focus energy
Power and fluid:
Quartz tube: Transmit energy electric and thermal energy
Wire high temperature: Power electric and liaison between radiant
Dimmer power: Control of ignition tubes IRC
Thermal parts:
Lamp IRC
MinIRT optical pyrometer
Power: 3000 W, 400 V
Electric parts:
EBM Fan 890 m3h
CD AUTOMATION 35 A Power dimmer
CD AUTOMATION Power dimmer 45A
EUROTHERM Regulator 3508
Inside the chamber: Graphite holder
EDWARDS Vacuum pump equipped with filter for selenium / Sulphur
heating elements
Electrical cabinet: 120 kW - 400 V, 3 phase + land
2005 vintage.
SOPARA CA45586/12는 강력하고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 반도체 생산을 위해 설계되었으며, 다양한 연구 애플리케이션에 적합합니다. SOPARA CA45586/12에는 난방 요소가 포함 된 250x320x250mm 크기의 스테인리스 스틸 인테리어 챔버가 있습니다. 이 요소는 최대 온도 2500 ° C를 허용합니다. 챔버 온도는 프로그램 가능한 디지털 컨트롤러 (digital controller) 에 의해 조절되며, 프로세스 전체에서 일정한 온도를 유지합니다. 이 프로세스는 빠른 흐름 제어 밸브가있는 안전 검사 가스 순환 시스템을 통해 완료됩니다. SOPARA CA45586/12의 내부 기능은 고품질 글로우 바 난방 요소입니다. 이 가열 요소는 부식 및 산화 내성을 향상시키고 열 전도성을 향상시켰다. 이 용광로 는 또한 효과적 인 재순환 환기 "시스템 '을 갖추고 있는데, 이것 은 약실 의 온도 를 계속 감시 한다. 이 열 조절 시스템은 불균일 한 가열 영역을 최소화하고 균일 한 확산 과정을 보장합니다. SOPARA CA45586/12에는 쿼츠 튜브, 복합 가스 입구, 쿼츠 튜브 스탠드, 재순환 팬 및 재순환 밸브와 같은 추가 액세서리가 장착되어 있습니다. 석영 튜브는 여러 실험에 이상적인 환경을 제공합니다. 화합물 "가스 '입구 는 약실 에 들어오는" 가스' 의 양 을 정밀 하게 조절 할 수 있게 해 주며, 그 결과 로 조절 되는 과정 이 생긴다. 쿼츠 튜브 스탠드 (quartz tube stand) 는 다른 조건에서 튜브를 지원하도록 설계되었으며, 필요할 때 샘플 사이의 일관성을 유지하기 위해 완벽한 장비를 제공합니다. 재순환 팬은 챔버 (chamber) 의 가스 순환을 조절하고 프로세스 전체에서 온도도 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 재순환 밸브는 가스 흐름을 조절하여, 챔버 (chamber) 의 온도가 전체 확산 과정 (diffusion process) 동안 항상 제어되고 있는지 확인합니다. SOPARA CA45586/12에는 과열 (overheat protection) 및 절연 (insulation) 과 같은 다양한 안전 기능이 장착되어 있어 사용자와 직원이 과도한 열 노출으로부터 보호할 수 있습니다. 또한, 이 용광로는 전원 차단 (Power Cut-off) 스위치로 설계되어 긴급 상황의 경우 신속하게 프로세스를 중지합니다. SOPARA CA45586/12는 강력하고 신뢰할 수있는 확산 로로, 모든 확산 프로세스에서 고온, 제어 프로세스 및 균일성을 쉽게 달성 할 수 있습니다. 이 다양하고 효과적인 도구는 많은 생산 및 연구 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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