판매용 중고 SOLITEC VQC-200 #9246336

SOLITEC VQC-200은 고순도 및 고품질 반도체 웨이퍼를 제공하도록 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. 전기적, 화학적, 광학적 특성이 우수한 고순도 웨이퍼의 생산 및 제작에 좋습니다. 이 장비는 확산 및 빠른 열 공정 챔버 (rapid thermal process chamber) 와 함께 최대 1350 ° C의 온도에서 진공 제어 환경으로 구성됩니다. 이 챔버는 고급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 균일 한 열 플럭스를위한 석영 코팅 베이스 플레이트로 제작되었습니다. 확산 과정은 효율성이 높으며, 챔버 (chamber) 를 쉽고 빠르게 적재 및 언로드하여 생산을 간소화할 수 있습니다. VQC-200은 고수율, 신뢰성 있는 작동을 위해 설계되었으며, 고도로 반복 가능한 확산 매개변수를 제공합니다. 안전 연동 스위치 (Safety Interlock Switch), 과열 보호 (over-temperature protection), 단락 회로 보호 (Short Circuit Protection) 와 같은 다양한 안전 기능이 있어 웨이퍼 생산에서 안전한 선택입니다. 또한, 통합 안전 경보 (Integrated Safety Alarm) 는 온도 불일치와 결함 및 온도 감시를 감지할 수 있습니다. 이 시스템은 사용자에게 매우 친숙하며, 운영 프로세스 전반에 걸쳐 확산 매개변수를 정확하게 기록하고, 감사를 위한 추적 (traceability) 을 용이하게 할 수 있는 데이터 로깅 기능을 제공합니다. 또한 데이터를 범용 CSV 형식으로 자동으로 보고하고, 공유 저장소 영역에 업로드하거나, 인쇄하여 추가 처리를 위해 인쇄할 수도 있습니다 (영문). 또한 Analyzer 인터페이스는 유연한 레시피 정의와 시각적 제품 제어를 제공합니다. 이 장치는 또한 저소음 방출을 통해 에너지 효율적입니다. 재 설계된 공기 냉각기는 최적의 흐름 속도와 부드러운 온도 조절을 가능하게합니다. 솔리텍 VQC-200 (SOLITEC VQC-200) 은 또한 조절 가능한 알루미나 채널을 통해 난방 및 냉각 공정의 미세 튜닝을 통해 정확하고 반복 가능한 확산을 얻을 수 있습니다. 마지막으로, VQC-200 은 완전 자동화된 툴로서, 다른 확산 용광로 및 관련 툴과 쉽게 통합될 수 있습니다. 이를 통해 확산 프로세스가 더욱 단순화되고 설치 비용이 크게 절감됩니다. 전체적으로 SOLITEC VQC-200은 제어, 고효율, 고순도 확산을 위한 탁월한 선택입니다.