판매용 중고 SOLITEC VQC-200 #9246173

SOLITEC VQC-200 (VQC-200) 은 정확한 정확성과 균일성이 필요한 어려운 처리 어플리케이션을 위해 설계된 고급 고성능 확산 로와 액세서리입니다. 이 고급 용광로는 반도체 소자 웨이퍼 (wafer) 와 유리 기판 (glass 기판) 의 가공과 같은 다양한 산업, 연구 및 실험실 운영에 사용됩니다. VQC-200 확산 로에는 매우 정확한 결과와 최고의 생산성을 제공하도록 설계된 고성능 어레이 (Array of High Performance) 기능이 장착되어 있습니다. 고급 듀얼 존 (dual-zone) 세라믹 난방 요소 장비를 사용하여 처리 영역 전체에서 일정하고 균일 한 온도를 보장합니다. 또한 가열 및 냉각 주기 동안 열 응력을 최소화하기 위해 가공 된 웨이퍼 (wafer) 와 유리 기판의 빠른 냉각을 보장하는 강력한 대류 냉각 (convection cooling) 옵션을 자랑합니다. 또한, 시스템의 유연성은 거의 모든 유형의 열 공정 (예: 현장 산화) 을 용광로에서 우수한 정확도로 수행 할 수 있습니다. 다른 고급 기능으로는 자동화된 처리 장치 (automated handling unit) 가 있는데, 이를 통해 웨이퍼 및 기판을 빠르고 제어하고 언로드할 수 있습니다. 이 자동화된 처리 기계는 정확하고 조정이 필요 없는 배치, 포지셔닝 정확성을 보장합니다. 또한 SOLITEC VQC-200에는 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 기능이 장착되어 있어 용광로 성능을 모니터링하고 최적화할 수 있습니다. VQC-200은 최고의 프로세스 안전성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 공정 환경 내에서 비정상적인 압력, 온도, 가스 흐름 (gas flow) 이 감지되면 용광로를 차단하는 독특한 안전 (safety) 기능을 사용합니다. SOLITEC VQC-200 (VQC-200) 에는 다양한 프로세스 변수를 포함하여 전체 프로세스 기록을 모니터링하고 기록하는 고급 센서 기술도 포함되어 있습니다. VQC-200 확산 용광로는 정밀 처리, 최대한의 안전, 정확성이 필요한 용도에 적합합니다. 고급 (Advanced) 기능은 다양한 어플리케이션에서 안정적인 처리 결과와 뛰어난 성능을 제공합니다. 고급 진단 (Advanced Diagnostics) 및 자동 처리 (Automated Handling) 툴을 사용하면 성능을 모니터링하고 최적화하여 정확성과 프로세스 가동 시간을 극대화할 수 있습니다.