중고 SEMITHERM / SEMITOOL (확산로 및 액세서리) 판매용

확산 용광로는 반도체 제조에 필수적인 도구이며, SEMITHERM/SEMITOOL은이 분야의 주요 제조업체입니다. VTP 1500, VTP 1500 LH 및 VTP 1500X와 같은 확산 용광로는 실리콘 웨이퍼에 정확하고 균일 한 열 처리 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 확산 용광로에는 고도로 통제되고 효율적인 확산 작업을 위해 고급 액세서리가 장착되어 있습니다. 주목할만한 액세서리로는 가스 패널 (gas panel) 이 있으며, 이를 통해 공정 가스의 효율적인 전달 및 혼합이 가능합니다. 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 프로파일을 유지하는 온도 컨트롤러; 우수한 열 균일성을 제공하는 석영 튜브 용광로. SEMITHERM/SEMITOOL의 확산 용광로는 몇 가지 장점을 제공합니다. 고급 온도 제어 시스템 (Advanced Temperature Control System) 은 정확한 열 프로파일을 가능하게 하여 일관되고 안정적인 확산 프로세스를 보장합니다. "가스 '" 패널' 의 정확 한 "가스 '전달 및 혼합 기능 은 균일 한" 가스' 흐름 과 분포 를 보장 해 주며, 그 결과 "웨이퍼 '전체 의 도핑 수준 이 일관성 있게 된다. 또한, SEMITHERM/SEMITOOL의 확산 용광로는 높은 처리량과 낮은 미립자 생성으로 유명합니다. 이는 생산이 효율적이고 오염이 최소화되며, 웨이퍼 품질과 수익률이 우수합니다. 이러한 확산 용광로는 열 산화, 확산, 어닐링 및 화학 증착을 포함한 다양한 반도체 제조 공정에서 응용을 찾습니다. 연구 실험실 또는 대규모 생산 시설에 사용되든, SEMITHERM/SEMITOOL의 확산 용광로 및 액세서리는 반도체 열 처리 프로세스에 신뢰할 수 있고 고급 솔루션을 제공합니다.