판매용 중고 SEMCO POCl3 #9142358

SEMCO POCl3은 반도체 장치 제조에 이상적인 확산 로입니다. 그것 은 여러 가지 재료 의 정밀 하고 고도 로 조절 된 열 처리 를 위해 설계 되었다. 이 시스템은 빠른 온도 램프 (rapid tempering) 와 고도로 제어 된 냉각 (cooling) 을 제공하여 대상 재료의 가스화 및 산화를 줄입니다. 또한 POCl3 는 광범위한 재료를 정확하게 처리할 수 있을 뿐 아니라, 자동화된 Foreline Refresh/Purge Control 을 갖추고 있으며, 상태 확인을 위한 능동적인 모니터링을 제공합니다. SEMCO POCl3은 HeNe 레이저 기반 IR 피로미터를 제공하여 챔버 내 온도를 매우 정확하게 측정합니다. 또한 PID 루프 프로그래밍이 장착 된 고급 디지털 PVDF 컨트롤러를 제공하여 정확한 온도 조절 및 유지 관리 프로파일을 사용할 수 있습니다. 또한 자동화된 소스 피드스루 (feedthrough) 를 통해 위험한 조건을 줄일 수 있습니다. POCl3은 콜드 트랩 (cold trap), 하이 진공 게이트 밸브 (high vacuum gate valve) 및 압력 제어 시스템 등 다양한 액세서리로 설계되었습니다. 정밀 온도 조절 및 자동 제어 시스템 (automated control system) 을 제공하는 것 외에도, SEMCO POCl3은 확산 프로세스의 온도 및 기타 매개 변수를 분석하는 데 사용할 수있는 고정밀 열 평가 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 필요한 응용 프로그램에 맞게 최적화되도록 3D로 열 (heat) 및 영역 (zone) 프로파일을 보고 실시간으로 매개변수를 수정하는 데 사용할 수 있습니다. POCl3은 고정밀 석영 튜브 (quartz tube) 구조를 특징으로하여 장기적인 일관성과 신뢰성을 보장하고 탁월한 열 확산을 보장합니다. 이 시스템은 엑스선 방사선에 대한 보호 차폐를 제공하며, 원치 않는 대기 가스를 줄이기 위해 필터를 제공합니다. 셀의 독특한 흑체 (black-body) 디자인은 처리 중 용광로의 열 왜곡을 감소시켜 온도 프로파일을 정확하게 제어 할 수 있도록 도와줍니다. SEMCO POCl3은 반도체 처리에 관련된 사람들에게 이상적인 확산 로입니다. 이 제품은 정확하고, 안정적이며, 안전한 열 처리, 다양한 액세서리 (accessory) 및 자동 시스템 (automated system) 을 제공하여 다양한 재료를 효과적으로 처리할 수 있습니다. 첨단 소프트웨어 (SW) 와 철저한 안전 규정 (Safety Regulation) 을 통해 효율적이고 안전한 확산 로를 찾는 사람들에게 완벽한 선택이 가능합니다.