판매용 중고 POLYFLOW S 720-407-50/47 #26725
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ID: 26725
빈티지: 2002
Quartzware cleaner
Right chamber supports up to tube: 90"
Left chamber supports up to tube: 88"
Operating system: Windows 98
With autoflow II board with microprocessor
Process Control Management (PCM) on-board
Includes:
Manuals
Drawings
Acid tank
Pump
2002 vintage.
POLYFLOW S 720-407-50/47은 고효율 확산 로와 액세서리로, 반도체 웨이퍼 생산을 위해 고품질의 밀도, 균일 한 실리콘 레이어를 생산합니다. 이 확산 로는 독보적인 수직 마그네틱 서스펜션 (Magnetic Suspension) 설계를 통해 가스 투과 가능한 물개 (gas-permable seal) 가 필요하지 않으므로 매우 낮은 유지 관리 비용으로 더 높은 수준의 성능 효율성을 제공합니다. POLYFLOW S 720-407-50/47은 하향식 방향성 흐름 필드가있는 수평 구성 난방 코일로, 난방 공정의 효율성을 향상시킵니다. 또한 최적화된 설계로 열 효율이 향상되어 전체 웨이퍼 (wafer) 에 균일 한 층을 생산할 수 있습니다. 퍼니스는 또한 폐쇄 루프 온도 조절 (closed-loop temperature regulation) 을 가지고 있으며, 이를 통해 사용자는 챔버의 온도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 일관된 난방 과정을 보장하기 위해 POLYFLOW S 720-407-50/47은 특정 응용 프로그램에 따라 조정할 수있는 광범위한 매개 변수를 가진 회전 서셉터 (rotating susceptor) 를 사용합니다. 서셉터는 사용자가 제어하는 시간, 온도, 압력, 복사 플럭스 (radiant flux) 등의 옵션으로 설정할 수 있으므로 정밀도가 가장 높을 수 있습니다. POLYFLOW S 720-407-50/47은 또한 오염으로부터 보호하기 위해 고급 여과 시스템을 갖추고 있으며, 사용자는 뛰어난 웨이퍼 품질을 얻을 수 있으며, 유전체 손상을 방지하고 생산 중단을 줄일 수 있습니다. 게다가, 이 확산 로 는 산소 "모니터 '를 이용 하여 최상 의 순도 를 보장 하여, 하류 입자 오염 의 위험 을 감소 시킨다. POLYFLOW S 720-407-50/47은 다양한 업계 표준 용광로와 호환되므로 다양한 사용자가 최상의 결과를 얻을 수 있습니다. 뿐 만 아니라, 이 제품 은 우월 한 안전 을 이루도록 설계 되었는데, 그것 은 산화 에 저항 하는 특수 물질 때문 이다. 또한 이 제품에는 발생할 수 있는 결함에 대해 최대 12 개월의 보증이 제공됩니다 (영문). 결론적으로, POLYFLOW S 720-407-50/47은 반도체 웨이퍼 생산 산업을위한 고품질의 균일 한 레이어를 생산할 수있는 뛰어난 확산 용광로 및 액세서리입니다. 수직 자기 서스펜션 (vertical magnetic suspension) 및 닫힌 루프 온도 제어 (closed-loop temperon control) 와 같은 독특한 설계 기능이이 제품을 안정적이고 효율적이며 비용 효율적입니다.
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