판매용 중고 POLYFLOW S-1052 #9078058

POLYFLOW S-1052
ID: 9078058
빈티지: 2000
System PC BCDS CAPABLE ACID, UPW RINSE 2000 vintage.
폴리플로 S-1052 (POLYFLOW S-1052) 는 저온 확산 처리를 통해 고급형 제품을 만들기 위해 제조업체와 연구실을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 최첨단 확산 로는 무거운 듀티 스틸 (heavy-duty steel) 로 제작되었으며 열 그라디언트에 대한 정확한 사양과 공차를 위해 설계되었습니다. 확산 로에는 기하학적 난방 요소 (geometric heating element) 와 가변 열전대 프로브 (thermocouple probe) 가 장착되어 가열된 영역 전체에서 최적의 온도 제어를 제공합니다. 이 시스템은 가열된 영역 내에서 여러 점의 온도를 모니터링 (monitor) 하고 제어하여 단위 (unit) 의 온도를 정확하게 제어할 수 있습니다. 확산 용광로는 PID 프로파일, 램프 및 비누기 프로파일, 경보 알림, 시간/온도 프로파일 등 다양한 프로그램 가능 내장 컨트롤을 사용합니다. 임베디드 (Embedded) 컨트롤러와 컨트롤러를 통해 엔지니어는 프로세스 진행에 따라 다른 확산 기술뿐만 아니라 모니터 (Monitor) 에 대한 온도를 정확하게 제어하고 조정할 수 있습니다. 난방 "요소 '와 열전대 는 공기 변위 를 최소화 한 열 분포 까지도 유지 하도록 설계 된 견고 한" 챔버' 에 들어 있다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 열 효율적이도록 설계되었으며 400 ° F의 낮은 온도에 도달 할 수 있습니다. 확산 로의 연소 챔버는 공랭식 세라믹 절연 케이스로 둘러싸여 있습니다. 이 이중 절연 외관은 잠재적으로 위험한 공기 혼합물이 챔버를 탈출하는 것을 방지합니다. 사람과 장비의 최고 수준의 안전을 보장합니다. 또한 외부 케이스 (exterior casing) 는 노이즈 및 진동 수준을 최소한으로 유지하여 안전성과 최적의 작업 환경을 향상시킵니다. 온도 균일성을 위해 S-1052 확산 로에는 열 사이클링 기계가 포함됩니다. 이 도구를 사용하면 가열된 영역 전체가 여러 영역 (zone) 에 걸쳐 일관된 온도 범위를 유지할 수 있습니다. 이를 통해 효율적인 확산 처리 및 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 확산 로 자체에 더하여, POLYFLOW S-1052에는 다양한 액세서리가 포함되어 있으므로 완벽한 솔루션이 보장됩니다. 액세서리에는 열전대 및 열전대 처리 모듈, 제어 및 통신 케이블 시스템, 챔버 담요 및 밀봉 덮개 시스템, 웨이퍼 전달 및 검색 자산이 포함됩니다. 모든 액세서리는 S-1052 확산 용광로 모델의 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 전반적으로, POLYFLOW S-1052 확산 로 및 액세서리 장비는 저온 확산 처리 시스템을 통해 온도 균일성과 고급 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 중공업 (heavy-duty) 구조, 효율적인 열 설계, 그리고 액세서리 (accessory) 를 포함하여 확산 프로세스를 정확하게 제어해야 하는 엔지니어 및 제조업체에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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