판매용 중고 MRL Cyclone C440 #293752952

MRL 사이클론 C440은 반도체 재료의 정확하고 효율적인 처리를 위해 MRL Industries가 설계 한 최첨단 확산 로입니다. 이 고급 장비는 신뢰성, 균일성, 유연성으로 유명하며, 반도체 제조업체와 연구 시설에 없어서는 안될 도구입니다. 사이클론 C440 (Cyclone C440) 은 실리콘 웨이퍼로 도펀트 및 기타 불순물을 통제 할 수있는 수직 지향, 고온 석영 튜브 퍼를 갖추고 있습니다. 고온로는 섭씨 1200 도의 온도에 도달 할 수 있으며, 확산 과정에 대한 최적의 조건을 제공합니다. "튜브 '로 의 수직 방향 은 우수 한" 가스' 흐름 과 "웨이퍼 스택 '전체 의 균일 한 온도 분포 를 보장 해 주며, 그 결과 는 일관성 있고 번식 할 수 있다. MRL 사이클론 C440 (MRL Cyclone C440) 의 주요 특징 중 하나는 고급 가스 관리 장비로, 공정 챔버 내에서 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 시스템은 포스핀, 디 보란 같은 도펀트 가스 (dopant gase) 와 질소, 아르곤 (argon) 과 같은 캐리어 가스 (carrier gase) 를 포함하여 광범위한 공정 가스를 제공 할 수 있습니다. "가스 '유속 과 혼합물 의 정확 한 조절 은 높은 정확도 와 반복성 으로 확산 과정 을 수행 한다. 사이클론 C440 (Cyclone C440) 은 정확한 가스 관리 장치 외에도, 확산 과정에서 웨이퍼 온도를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 온도 조절 머신을 갖추고 있습니다. 이 도구는 튜브 로의 길이를 따라 여러 개의 독립적 인 난방 구역 (independent heating zone) 을 갖추고 있으므로 웨이퍼에 정확한 온도 프로파일을 적용할 수 있습니다. "웨이퍼 '" 스택' 에 걸친 온도 균일성 은 최적화 된 "가스 '흐름 패턴 과 세심 하게 조종 된 열 절연 재료 를 사용 함 으로써 달성 된다. MRL 사이클론 (Cyclone) C440은 작은 2 인치 웨이퍼에서 큰 8 인치 웨이퍼에 이르기까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되어 다양한 반도체 응용 프로그램을위한 다목적 도구입니다. 에셋은 또한 여러 웨이퍼 보트 (wafer boat) 로 구성할 수 있으며, 이를 통해 단일 실행에서 여러 웨이퍼를 처리할 수 있습니다. 이러한 유연성으로 인해 Cyclone C440은 연구 환경과 생산 환경 모두에 이상적인 선택이 됩니다. 사용자 인터페이스 및 제어 측면에서 MRL 사이클론 C440 (MRL Cyclone C440) 은 사용자 친화적 인 터치스크린 제어판을 통해 운영자가 확산 프로세스를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 여러 프로세스 레시피 (recipe) 를 저장할 수 있으므로 다른 응용 프로그램에 대해 다른 프로세스 매개변수 (process parameter) 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. 실시간 데이터 로깅 및 모니터링 (monitor) 기능을 통해 운영자는 확산 프로세스의 진행 상황을 추적하고 필요에 따라 조정할 수 있습니다. 전반적으로 Cyclone C440 확산 로는 반도체 프로세싱을위한 최첨단 도구이며, 탁월한 성능, 다용도 및 제어를 제공합니다. 첨단 가스 관리 장비, 정확한 온도 조절, 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 를 통해 정밀하고 반복 가능한 확산 프로세스를 달성하려는 반도체 제조업체와 연구원에게는 필수적인 도구입니다.