판매용 중고 MRL BLACK MAX #108409

MRL BLACK MAX는 고성능 확산 로와 액세서리입니다. 웨이퍼, 기판 및 집적 회로의 우수한 열 처리에 이상적입니다. 이 확산은 석영 튜브 난방 장비를 사용하여 균일 한 온도, 균일 한 냉각을 달성합니다. BLACK MAX의 고온 기능을 통해 정확하고, 반복 가능하며, 안정적인 확산 프로세스를 수행할 수 있습니다. 또한, 뛰어난 프로세스 제어 및 반복 성을 위해 고정밀 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. MRL BLACK MAX에는 쿼츠 튜브 난방 시스템, 히터-방사선 열 포트 및 층 사이에 산소가 가득 찬 단열이있는 강성 절연 석영 튜브가 포함됩니다. 이 확산 용광로는 최대 1400 ° C의 온도에서 작동 할 수 있으며, 우수한 균질성, 균일 한 온도 균일성 및 뛰어난 공정 제어를 제공합니다. 쿼츠 튜브 가열 장치 (quartz tube heating unit) 는 개별 온도 조절이 가능한 3 개의 가열 영역을 사용하며, 처리되는 기판이 각 영역의 동일한 온도에 노출되도록 표시됩니다. 이를 통해 고성능 웨이퍼 (Wafer) 와 기판의 균일 한 확산을 막기 위해 스파이크 (Spike) 또는 온도가 떨어지는 것을 피할 수 있습니다. 블랙 맥스 (BLACK MAX) 는 또한 확산 과정에서 기판의 적절한 냉각을 보장하도록 설계된 강력한 산업 팬과 함께 제공됩니다. 이 산업 "팬 '은 항상 뛰어난 냉각기 를 공급 하기 위하여 질소 나 산소 를" 웨이퍼' 위 에 돌린다. 그 에 더하여, "팬 '은" 오븐' 밖 에 위치 하여 어떤 공기 도 용광로 에 들어가지 못하게 하여 오염 을 일으킨다. MRL BLACK MAX는 탁월한 프로세스 제어 및 신뢰성을 원하는 사람들에게 적합합니다. 그것 의 석영 "튜브 '난방기 는 가공 하는 기질 들 이 각" 존' 의 동일 한 온도 에 노출 되도록 보장 해 주며, 강력 한 산업용 "팬 '은 적절 한 냉각 을 보장 해 준다. 또한 고정밀 온도 컨트롤러는 정확하고 반복 가능한 확산 프로세스를 가능하게합니다.