판매용 중고 MRL 814 #9304776

MRL 814는 다양한 열 응용 프로그램 및 박막 증착에 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 확산 용광로는 반도체 웨이퍼, 센서, 박막 배터리, 기타 전자 부품 등 기판에 박막을 만드는 데 사용됩니다. 814는 전체 기판에 걸쳐 뛰어난 제어, 작동 주기, 난방 속도, 균일성을 제공하여 오늘날의 고온 정밀 박막 응용 프로그램에 적합합니다. MRL 814는 대부분의 다른 확산 용광로보다 더 크고 깊은 단면 챔버를 사용합니다. 이렇게 하면, 더 큰 "웨이퍼 '를 기판 홀더 상판 에 적재 할 수 있고, 매우 균일 한 난방 을 할 수 있다. 814의 최대 작동 온도는 약 800 ° C이며, 적용 가능한 압력 범위는 0.1 ~ 3 Torr입니다. MRL 814 (MRL 814) 의 독특한 디자인은 수직 석영면을 사용하여 단단한 공간에서도 균일 한 가열을 허용합니다. 또한, 이중 온도 센서를 장착하여 가장 정확하고 안정적인 온도 판독값을 보장합니다. 모든 Fischer Scientific 확산 용광로와 마찬가지로, 최적화 패키지는 814에 포함되어 있으며, 이는 프로그램 매개변수에 대한 제어를 강화하고 절연 및 히터 파워의 정확한 튜닝을 허용합니다. MRL 814에는 생산성을 향상시키기 위해 많은 액세서리가 포함되어 있습니다. "가스 '소진 을 위한" 호오스' 연결 이 포함 되어 있는데, 그 로 인해 "호오스 '연결 은" 호오스' 를 수정 하지 않고 진공 "라인 '을" 챔버' 에 직접 부착 할 수 있다. 또한 814 에 포함 된 진공 인구 감소 "시스템 '이 있는데, 이" 시스템' 은 약실 의 부식 물질 을 빠르고 쉽게 제거 하는 데 도움 이 된다. MRL 814 는 기술적 발전과 더불어, 확산 용광로, 박막 증착 (Thin-Film Deposition) 과 관련된 모든 문제에 대한 경험이 풍부하고, 지식이 풍부한, 종합적인 2 년 보증과 고객 서비스 팀의 지원을 받고 있습니다. 이를 고려해 볼 때, 814 는 신뢰할 수 있는, 고성능 확산 로와 액세서리가 필요한 모든 시설에 적합한 선택입니다.