판매용 중고 MRL 1920 #104811

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ID: 104811
웨이퍼 크기: 12"
Single stack diffusion furnace, 12" Currently set up for anneal process: Oxygen, Nitrogen and Argon Could be used for Anneal or Oxide Furnace Atmospheric pressure operation Three zones Temperature up to 1200°C 208 V, 3 phase, 180 A.
MRL-MRL 1920은 최상위 재료로 만들어진 고온 확산 로입니다. 저열손실 (low-heat loss) 과 2 개 이상의 가열된 표면에서 매우 높은 온도의 균일성을 가진 균일 한 열원을 만들도록 설계되었습니다. 이 장비는 용광로 챔버, 전원 공급 장치, 절연 장치, 하단 및 상단 지원 플레이트, 온도 제어 장치, 배기 팬, 온도 모니터링 장치, 냉각 시스템 및 긴급 차단으로 구성됩니다. 용광로는 우수한 열 전도와 세로 안정성을 제공하는 고급 몰리브덴 (molybdenum) 과 흑연 (graphite) 으로 만들어집니다. 용광로는 저항성 스팟 난방 요소로 가열되며, 최대 설정에서 최대 1920 킬로와트의 전력 입력 (Power Input) 이 예상됩니다. 1200 ~ 1800 ° C의 범위에서 정확한 온도 제어를 위해 디지털 제어 장치를 갖추고 있습니다. 절연 (Insulation) 은 가열된 표면에서 제조업체의 견적 온도 균일성 ± 2 ° C를 달성하는 주요 요소입니다. MRL-MRL 1920은 여러 층의 고온 섬유 및 세라믹 블록으로 다중 계층 절연 구조를 사용합니다. 온도 조절은 임베디드 디지털 온도 조절 장치에서 처리합니다. 이 최첨단 장치는 2 개의 독립적 인 온도 센서 (작업 영역 내부에 있으며 다른 하나는 뚜껑에 내장되어 있음) 로 구성된 피드백 머신을 갖추고 있습니다. 두 개의 센서는 함께 작동하여 용광로 챔버 (furnace chamber) 내부의 세트와 실제 온도 사이의 편차를 감지합니다. MRL-1920에는 자동 배기 팬 (Automatic Exhaust Fan) 및 재순환 냉각 도구 (Recirculating Cooling Tool) 가 포함되어 있어 추가 열 보호 계층이 추가됩니다. 배기 팬은 온도 변동을 최소화하기 위해 핫 존 (hot zone) 을 냉각시키는 데 도움이 되며, 냉각 에셋 (cooling asset) 은 모델을 극심한 온도 조건으로부터 유지하는 데 도움이됩니다. 마지막으로, 안전 장치 (Safety Equips) 는 경보나 오작동이 발생할 경우 전원 공급 장치를 차단하는 비상 차단 (Emergency Shut-off) 스위치로 구성됩니다. 또한, 안전하지 않은 조건의 위험이 있다면, 용광로 작동을 막는 몇 가지 안전 인터 록 (Safety Interlock) 이 있습니다. MRL-MRL 1920 확산 로는 열 처리 (heat treature) 의 최고 품질을 제공하여 안정적이고 신뢰할 수있는 난방 솔루션이 될 것입니다.
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