판매용 중고 MRL 1148G2 #9192211

MRL 1148G2는 프라임 품질의 실리콘 웨이퍼 생산을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 용광로는 알루미나, 올리빈 또는 흑연 난방으로 구성됩니다. 최대 작동 온도는 1,800 ° C이며, 15kW ~ 19kW 범위의 전자빔을 제공합니다. 통합 프로그래머블 (integrated programmable) 컨트롤을 사용하면 확산 프로세스의 높은 반복성을 위해 원하는 프로세스 매개변수를 선택할 수 있습니다. 통합 적외선 피로미터 (pyrometer) 는 균일 한 샘플 면적 온도를 보장하는 반면, 내부 산소 흐름계는 원하는 확산 공정 대기를 유지하는 데 도움이됩니다. MRL 1148 G2는 또한 확산 과정에서 부서진 산화물 및 응력의 형성을 피하기 위한 빠른 냉각 공정 (rapid cooling process) 과 확산 공정 대기를 모니터링하기위한 쿼츠 버블러 (Quartz bubbler) 를 포함한다. 석영 버블러 (quartz bubbler) 는 공정 챔버에서 원하는 제어 대기를 감지하고 지속적인 산소 흐름을 전달하는 데 사용된다. 확산 용로와 함께, 흑연 서셉터 및 석영 웨이퍼 가이드도 포함됩니다. 1148G2에 포함 된 서셉터 (susceptor) 는 확산 과정에서 웨이퍼의 균일 한 가열을 제공합니다. 석영 "웨이퍼 '가이드 는" 실리콘 웨이퍼' 가 전체 과정 중 "서셉터 '의 하단 끝 에 안정적 으로 보관 되도록 한다. 용광로 내에 수셉터를 다시 배치하는 기능은 다중, 단일 또는 특수 웨이퍼 확산을 허용합니다. 1148 G2 (1148 G2) 는 사용자에게 해를 끼치지 않으면서 프로세스 효율성을 유지하기 위해 진공 열 절연 장벽 (vacuum thermal insulation barrier) 을 포함한 안전 기능으로 설계되었습니다. "산소 '유동계 는 또한 산소 를 탐지 하지 않을 때" 가스' 흐름 을 차단 하여 어떤 위험 한 폭발 이나 화재 가 일어나지 않도록 한다. 이 열 절연 장벽 및 산소 차단 (oxygen shutoff) 은 확산 프로세스가 완료된 후 웨이퍼 냉각을 가능하게한다. MRL 1148G2는 Energy Star 인증을 받았으며, 다른 확산 용광로에 비해 확산 과정을 완료하기 위해 에너지가 적습니다. 통합 분말 냉각 장치 (integrated powder cooling system) 는 또한 원치 않는 산화물 또는 화학 불순물이 형성되는 것을 방지하여 전체 확산 과정의 끝에서 완벽한 결과를 보장합니다.