판매용 중고 MRL 1024 #9952

MRL 1024
ID: 9952
웨이퍼 크기: 6"
Three stack diffusion furnace, 6" With cantilever loader.
MRL 1024는 다양한 기술 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 로입니다. 이 상업적으로 제조 된 제품은 난방, 진공 챔버, 샘플 홀더, 열 구배 제어 장비 및 동반 액세서리로 구성됩니다. 난방 챔버는 300 형 스테인레스 스틸로 제조되며 단일 FE-B5 시리즈 히터를 포함합니다. 그것 은 열 "사이클 '로 인테리어 를 부식 과 마모 로부터 보호 하기 위한 질화물" 코우팅' 을 갖추고 있다. 샘플 홀더는 스테인레스 스틸 용접봉 (stainless steel welded rod) 으로 만들어졌으며 처리 중인 재료를 지원하도록 설계되었습니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 확산 과정에서 생성 된 휘발성 유기 화합물 (VOC) 및 기타 물질의 수준을 줄이기 위해 개발 된 전문 디자인입니다. 나비 밸브, 플랜지 진공 커넥터, 열전대 포트가 장착되어 있습니다. "나비 '" 밸브' 를 이용 하면 다량 의 공기 를 교환 하지 않고도 기화 된 화학 물질 을 "시스템 '에 도입 할 수 있다. 열 구배 제어 장치 (thermal gradient control unit) 는 샘플 홀더의 온도를 정확하게 조절합니다. 이 기계는 고체 릴레이와 화학적으로 비활성 세라믹 절연을 사용하여 균일 한 난방 및 냉각을 보장합니다. 이 도구는 또한 재료의 과열을 방지하기 위해 설계된 오버 슈트 (overshoot) 보호 메커니즘을 특징으로합니다. 동반 액세서리에는 샘플 온도의 컴퓨터 화 된 판독 장치, 가스 질량 흐름 컨트롤러, 푸메 스크러버, 스파거 등이 있습니다. 컴퓨터 판독값은 정확한 온도 판독 값과 세트 포인트 수정 기능을 제공합니다. 가스 질량 흐름 컨트롤러 (Gas Mass Flow Controller) 를 사용하면 물질을 낭비하지 않고 반응물의 유량을 자산으로 정확하게 조절 할 수 있습니다. "푸움 스크러버 '는 확산 과정 에 의해 생성 되는 방출 을 감소 시키도록 설계 되었으며," 스파거' 는 비활성 대기 를 유지 하기 위해 불활성 "가스 '의 흐름 을" 챔버' 로 통과 시키는 데 사용 된다. 전반적으로, 1024는 다양한 고급 기술 응용 프로그램에 사용하도록 설계된 효율적이고 효과적인 확산 로입니다. 특수 부품 및 액세서리는 정확한 온도 조절 및 더 나은 결과를 얻기 위해 반응물의 정확한 도입을 제공합니다.
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