판매용 중고 KOOKJE ELECTRIC DD-1223V DF #293825707

KOOKJE ELECTRIC DD-1223V DF는 고급 반도체 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 고성능 장비에는 최첨단 기술, 그리고 반도체 장치 제작에 필수적인 정확하고 안정적인 열 처리 (thermal processing) 기능을 제공하기 위한 혁신적인 기능이 탑재되어 있습니다. DD-1223V DF (DD-1223V DF) 의 중심에는 처리 챔버 전체에 균일하고 안정적인 온도 프로파일을 제공 할 수있는 강력하고 효율적인 난방 시스템이 있습니다. 이 용광로 (furnace) 는 수직 설계 구성을 활용하여 효율적인 열 대류 (convection) 를 가능하게 하며 웨이퍼 스택 전체에 일관된 열 분배를 보장합니다. 수직 레이아웃을 사용하면 가스 흐름 역학 (gas flow dynamics) 과 온도 조절 (temperature control) 이 향상되어 프로세스 균일성과 반복성이 향상됩니다. KOOKJE ELECTRIC DD-1223V DF는 최대 300mm의 표준 웨이퍼 크기를 수용하도록 설계되어 반도체 업계의 대용량 생산 환경에 적합합니다. 이 장치에는 정밀한 온도 조절 기능이 있는 다중 영역 (multi-zone) 난방기 (heating machine) 가 있어 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 맞춤화된 맞춤형 열 프로파일을 사용할 수 있습니다. 고급 온도 모니터링 (temperature monitoring) 및 제어 (control) 메커니즘을 통해 사용자는 엄격한 프로세스 공차를 달성하고 최적의 장치 성능 특성을 달성할 수 있습니다. DD-1223V DF (DD-1223V DF) 는 고급 열 처리 기능 외에도 운영 효율성을 높이고 운영자 안전을 보장하도록 설계된 포괄적인 안전 (Safety) 기능과 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 이 도구에는 질량 흐름 제어기, 압력 조절기 (Pressure Regulator) 를 포함한 고급 가스 처리 시스템 (Advanced Gas Handling System) 이 장착되어 있어 프로세스 대기를 정확하게 제어하고 안정적인 프로세스 조건을 보장합니다. 확산 용광로 (diffusion furnace) 는 또한 사용자 친화적 인 인터페이스와 직관적인 소프트웨어 제어 자산과 통합되어 프로세스 레시피의 프로그래밍과 주요 프로세스 매개변수의 실시간 모니터링을 용이하게 합니다. 이 모델의 소프트웨어 기능을 통해 사용자는 프로세스 레시피 (recipe) 를 저장, 회수하고, 프로세스 데이터를 추적하고, 종합적인 진단을 수행하여 장비 성능을 최적화하고, 운영 처리량을 극대화할 수 있습니다. 또한, KOOKJE ELECTRIC DD-1223V DF는 다른 프로세스 장비 및 자동화 도구와 원활하게 통합되도록 설계되어 있어 유연하고 확장 가능한 생산 환경을 제공합니다. 용광로를 클러스터 도구 구성에 쉽게 통합하거나 중앙 제조 실행 시스템 (MES) 에 연결하여 운영 관리 및 운영 효율을 간소화할 수 있습니다. 전반적으로, DD-1223V DF는 확산 용광로 기술의 새로운 표준을 설정하여 반도체 제조 응용프로그램에 대한 탁월한 프로세스 제어, 안정성, 생산성을 제공합니다. 첨단 기능, 혁신적인 설계, 견고한 구축을 통해 반도체 업계의 발전하는 요구를 충족시키고 차세대 디바이스 제작 (device fabrication) 프로세스의 혁신을 주도할 수 있게 되었습니다 (영문).