판매용 중고 KOKUSAI Zestone-V(B) DJ-1205V #9353494

KOKUSAI Zestone-V (B) (DJ-1205V) 는 전자 실리콘 웨이퍼의 대량 생산을 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 용광로의 배기 지대 (exhaust zone) 내에서 균일 한 온도 분포에 대한 뛰어난 온도 균일성 및 안정성을 제공합니다. Zestone-V (B) 는 또한 에너지 효율적인 난방 및 빠른 열 복구 시간을 제공하는 고성능 저항 난방 요소를 갖추고 있습니다. 향상된 프로세스 제어를 위해 프로그래밍 가능한 온도 컨트롤러와 다양한 열 프로파일 (thermal profile) 이 장착되어 있습니다. 용광로의 내부 치수는 1290mm x 305mm이고 최대 작동 온도는 400 ° C입니다. 그것 은 작은 "피트 '를 인쇄 하고 있으며 모든 생산" 라인' 에 쉽게 맞추도록 설계 되었다. 이 장치에는 로딩 암 (loading arm) 과 웨이퍼 준비를위한 먼지가없는 환경을 제공하는 배기 상자가 있습니다. 또한 안전 센서가 장착 된 푸시 탑 (push-top) 자동 작동 도어가 있어 쉽게 로드 및 언로드할 수 있습니다. 용광로는 과열 보호, 압력 스위치, 비상 정지 스위치 및 정전기 방지 기능을 갖춘 안전을 위해 제작되었습니다. Zestone-V (B) 에는 열 절연 세라믹 챔버 라이너, 수냉식 재킷, 온도를 측정하는 열전대, 2 점 아르곤 가스 보호 등 꾸준한 온도 분포를 달성하기 위해 필요한 모든 구성 요소가 장착되어 있습니다. 수냉식 재킷은 고수율 생산을 위해 웨이퍼의 균일 한 온도 조절을 보장합니다. 또한, 고급 가스 흐름 시스템은 확산 공급 (diffusion supply) 과 대용량 배기 (exhaust) 를 제공하여 일정하고 안정적인 성능을 제공합니다. Zestone-V (B) 의 독특한 올인원 (All-in-One) 설계는 최대 8 개의 센서를 포함하는 온도 조절 시스템을 통해 유지 관리가 불가능한 작동과 뛰어난 정확도를 제공합니다. 또한 Windows (r) 8.1/10 소프트웨어와 함께 사용자에게 친숙한 PC 인터페이스를 제공하여 더욱 향상된 제어를 위한 설정, 데이터 분석, 원격 모니터링을 지원합니다. 그리고 고효율 이중 벽 단열재 때문에 Zestone-V (B) 는 향상된 에너지 절감을 제공합니다. All-in-all, KOKUSAI Zestone-V (B) (DJ-1205V) 는 실리콘 웨이퍼의 대용량 생산에 적합한 선택으로 뛰어난 균일성과 안정성을 제공하여 탁월한 프로세스 제어를 제공합니다.