판매용 중고 KOKUSAI Vertron III #9242180

KOKUSAI Vertron III
ID: 9242180
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2005
Vertical diffusion furnace, 8" Nitride 2005 vintage.
KOKUSAI Vertron III (Vertron III) 는 최첨단 확산 로로 및 관련 전원 공급 장치로, 안정성 및 수익률이 향상된 고급 반도체 구조를 처리하도록 설계되었습니다. 버트론 III (Vertron III) 의 독특한 디자인은 오랜 시간에 걸쳐 극도로 균일 한 확산을 가능하게하며, 다양한 반도체 프로세스에 대한 향상된 결과를 제공합니다. 코쿠사이 버트론 III (KOKUSAI Vertron III) 는 시장에서 사용 가능한 최고 등급 합금 성분을 갖추고 있으며, 많은 확산 과정에서 종종 필요한 고온에서 산소 및 기타 가스의 이동을 가속화하는 독특한 내부 구조를 특징으로합니다. 따라서 작업 영역이 넓어지고, 프로세스 균일성이 향상되며, 처리 시간이 길어질 때 안정성이 향상됩니다. Vertron III에는 내장, 고급 로봇 로딩 및 언로드 컨베이어 시스템도 있습니다. 이 시스템은 처리 중 용광로 (furnace) 와 용광로 (wafer) 에 대한 효율적이고 안전한 처리와 손쉬운 작동과 제어를 위한 통합 자동화 기능을 제공합니다. 퍼니스에는 7 구역, 자체 조절, 정밀 액체 질소 퀸치 시스템이 포함되어 있으며, 최고 품질의 온도 균일성 및 반복성, 빠른 온도 복구 및 효율적인 온도 제어를 보장하도록 설계되었습니다. KOKUSAI Vertron III (Vertron III) 은 7 개 영역 모두에 대한 가변 전력 출력으로 설계되어 프로세스 조건이 서로 다른 유연성을 제공합니다. 이 출력 (power output) 은 여러 기판 재료와 프로세스에 최적화되어 모든 응용 프로그램에 가장 높은 수준의 성능을 제공합니다. 또한, Vertron III에는 부식성, 고순도, 스테인리스 스틸 인테리어 및 외부 표면이 장착되어 있어, 퍼니스는 많은 확산 공정과 관련된 가혹한 환경을 견딜 수 있습니다. 이러한 표면은 가장 까다로운 프로세스에서 부식에 대한 탁월한 성능, 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. KOKUSAI Vertron III 은 (는) 다양한 소프트웨어 패키지와 호환되며 사용자는 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 버트론 3 세 (Vertron III) 는 이러한 고급 기능을 통해 높은 정확도의 확산 프로세스에 대한 가장 엄격한 요구 사항을 충족하는 한편, 최대한의 안전성과 신뢰성을 제공합니다.
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