판매용 중고 KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9272701
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ID: 9272701
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1999
Vertical diffusion furnace, 8"
Process: LPCVD Nitride
CX2001 System controller
SECS/GEM Communication: Load station
Load station:
BROOKS SMIF Loader
WIP Carrier storage capacity: 8"
MIDAS Gas detector: Process Gas detection module
Wafer spacing: 6.5 mm
Load size: 125 Slots
Boat rotation
No N2 purged loadlock
Furnace:
CQ1501A Temperature controller
(4) Zones
D4EX02626 Heater: Mid temperature
Process temperature: 650°C-780°C
Flat zone length: 1200 mm
QUARTZ Process tube material
QUARTZ Wafer boat material
Tube seal: O-Ring seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R Type
Process gas control system:
Process gases (LPCVD):
HORIBA STEC Z500 MFC
Process gases: DCS, NH3
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader (Left/Right):
Integrated and base mounted with cassette optical light sensor detection
Heater voltage: 280 VAC, Single phase, 42 K A/C
Controllers: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
Clean unit: 100 VAC, Single phase, 10 K A/C
1999 vintage.
KOKUSAI Vertron III/DJ-803V (Advanced Diffusion Furnace and Accessorie) 장비는 광범위한 산업에서 온도를 정확하고 정확하게 제어하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리 장비입니다. 온도의 정확한 제어를 위해 고급 폐쇄 루프 온도 제어 (closed-loop temperature control) 를 갖춘 고온 챔버 (high-temperature chamber) 와 높은 정확도의 고속 열 반응 측정 시스템을 갖추고 있습니다. KOKUSAI VERTRON III DJ-803V (영문) 는 고효율 강제 공기 순환 설계로 설계되었으며, 난방 장치에 의해 생성 된 온도가 다르더라도 안정적이고 빠른 열 확산을 제공합니다. 또한 이 첨단 기술을 통해 5 ~ 1400 ° C 범위의 효율적인 작동과 다양한 가열 모드 (예: 연속 및 누적 펄스 모드) 를 사용할 수 있습니다. 또한 일정 온도 (일정한 온도) 및 프로그램 가능한 시간 제어 온도 조정 (programable time-controlled temperature adjustment) 과 같은 몇 가지 추가 열 제어 모드를 통해 사용자에게 열 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. Vertron III/DJ-803V에는 다양한 액세서리가 제공되어 사용자 환경을 향상시킵니다. 여기에는 2 개의 석영 석영 판과 안정적인 샘플 난방을위한 알루미나 석영 보트가 포함됩니다. 또한 사용자는 LCD 디스플레이를 통해 온도, 프로세스, 데이터 로깅 장비 (Data Logging Equipment) 를 모니터링하여 데이터 및 프로그램 설정을 저장할 수 있습니다. 또한, 이 확산 로에는 예기치 않은 또는 위험한 온도 이동의 경우 사용자에게 경고 할 수있는 경보 장치 (alarm unit) 가 있습니다. 이 고급 확산 용광로 (Advanced Diffusion Furnace) 와 액세서리 머신 (Accessorie Machine) 은 강력하면서도 컴팩트한 설치 공간으로 설계되어 손쉽게 설치하고 유지 관리할 수 있습니다. 건설에 사용되는 고급 재료는 향상된 내구성과 안정성을 제공합니다. 또한 효율적인 강제 공기 순환 설계 덕분에 에너지 효율성 (energy efficient) 이 높으며, 4면 용광로 차체는 극심한 온도에서도 온도를 일관되게 유지하는 데 도움이됩니다. VERTRON III DJ-803V는 정확한 온도 조절이 필요한 산업 및 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 신뢰성, 정확성, 에너지 효율성이 높으며, 다양한 액세서리 (accessory) 를 탑재하여 프로세스를 더욱 쉽고 빠르게 수행할 수 있습니다. 4 면 용광로 본체와 고급 폐쇄 루프 온도 제어 (closed-loop temperature control) 를 갖춘 고효율 강제 공기 순환 설계로, 이 확산 용광로 도구는 고정밀 산업에 적합한 선택입니다.
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