판매용 중고 KOKUSAI Vertron III / DJ-803V #9242184
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ID: 9242184
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2000
Vertical diffusion furnace, 8"
Oxide
Process: LPCVD ONO HTO
System controller: CX2001
SECS/GEM Communication: Load station
WIP Carrier storage, 8"
Wafer spacing: 5.5
Load size: 150 Slots
Boat rotation
Furnace:
Temperature controller: CQ1501A
(4) Zones
Heater type: Mid temp D4EX1048
Process temperature range : 600-625°
Flat zone length: 1200mm
Process tube material: Quartz
Wafer boat material: SIC
Tube seal configuration: O-Ring Seal (Viton)
Temperature control methodology: Closed loop (PID)
Thermocouple type: R
Process gases (LPCVD)
MFC: Z4400 / HORIBA STEC
Process gases: SiH4, HCL
Other gases: N2
Process pressure control system:
Vacuum pump: EDWARDS QDP80
Dry pump capacity: QMB 1200
Fore line size: 80
Pressure controller: CX1204
Pressure control methodology: Close loop (PID)
Process manometer
Pressure differential manometer
Pump manometer
Inline cold trap
Exhaust controller
BROOKS SMIF Loader
MIDAS Gas detector
Power supply:
Heater voltage: Single phase, 280 VAC, 42 K A/C
Controllers: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
Clean unit: Single phase, 100 VAC, 10K A/C
No N2 purged loadlock
2000 vintage.
KOKUSAI Vertron III/DJ-803V는 정밀 엔지니어링 프로세스를 위해 다양한 기능을 갖춘 확산 로와 액세서리입니다. 이 도구는 납납, 열 처리, 소결성 (sintering), 경련 (brazing), 결합 (bonding) 등과 같은 공정의 효율성과 정밀도를 높이도록 설계된 열 처리 도구입니다. DJ-803V는 최신 기술 발전으로 설계 및 제조되었습니다. 기계적 이동 (mechanical movement) 과 구동 (driving) 시스템은 사용자 피로를 줄이고 필요한 프로세스에 맞게 동작 패턴을 수정하도록 설계되었습니다. 확산 용광로 는 고품질, 내구성 있는 재료 로 만들어져 있어서, 요구 되는 "응용프로그램 '에 사용 할 수 있다. 용광로에는 온도 일관성을 유지하는 고급 설계 구성 요소가 장착되어 있으며, 가열 속도는 0.1 ~ 20C/min, 냉각 속도는 10 ~ 150C/min입니다. 또한 고급 고정밀 센서, 고급 열 모니터링 (Advanced Heat Monitoring) 및 자동 온도 컨트롤러 (Automatic Temperature Controller) 를 장착하여 정확한 온도 제어를 보장합니다. DJ-803V의 온도 측정 정확도는 최대 0.01C입니다. 확산 로에는 마이크로 매니 펄레이터 (micromanipulator), 압착 프로브 (ablation probe), 칩 리프트 (chip lift) 및 배선 메커니즘과 같은 기능을 개선하기 위해 다양한 추가 액세서리가 장착되어 있습니다. 다목적 챔버 (multipurpose chamber) 는 또한 초미세 입자 조작에서 플라즈마 폴리머 필름 생산에 이르기까지 광범위한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 마이크로 마니 펄레이터 (micromanipulator) 는 마이크로 어셈블리 및 컴포넌트의 정확한 조작을 허용하는 반면, ablation 프로브는 재료의 효과적인 마킹 및 에칭에 사용될 수있다. 또한 DJ-803V는 사용자에게 안전 기능을 제공합니다. 공정의 안전을 지속적으로 모니터링하는 여러 안전 센서 (Safety Sensor) 가 있으며, 사용자에게 경보 신호를 제공하는 온도는 작동 한도를 초과해야합니다. 고온 모니터링 센서, 자동 차단 (Automatic Shoff), 난방 방지 시스템 (Heating Loss Prevention System) 과 같은 방화책을 추가로 갖추고 있습니다. KOKUSAI VERTRON III DJ-803V (KOKUSAI VERTRON III DJ-803V) 는 고급 기능 외에도 잘 설계된 공기 흐름 시스템으로 인해 매우 신뢰할 수 있습니다. 이는 확산 로의 수명을 극대화하고, 다운타임을 최소화하면서 일관되고 안정적인 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다. Vertron III/DJ-803V (Vertron III/DJ-803V) 는 엄격한 온도 조절 및 정확성이 필요한 어플리케이션에 적합한 확산 로입니다.
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