판매용 중고 KOKUSAI Quixace #293818357
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KOKUSAI Quixace는 고급 반도체 제조를 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 포괄적인 기능과 기능을 제공하여 안정적이고 반복 가능한 프로세스 제어를 보장합니다 (영문). 장비는 경계 온도 컨트롤러 (boundary temperature controller), 고온 확산 로 (high temperature diffusion furnace) 및 최적의 조건을 보장하는 액세서리로 구성됩니다. 고유한 경계 온도 컨트롤러는 닫힌 루프 제어 (closed loop control) 를 제공하여 정확하고 일관된 난방 또는 냉각을 제공합니다. 용광로는 최적의 온도 프로파일을 위해 고급 증기 확산 챔버를 사용합니다. 이것은 도전적인 재료에 대한 균일 한 온도 분배와 정확한 열 성능을 보장합니다. 고급 디지털 난방 (Advanced Digital Heating) 및 냉각 프로파일을 프로그래밍하여 프로세스 전반에 걸쳐 정확한 온도 조절을 제공합니다. 동반자 액세서리 스위트는 Quixace와 공생하여 안정적인 프로세스 조건을 보장합니다. 자동 밸브 시스템을 사용하면 정확한 보충을 위해 정확한 대기 조절, 산소 및 수소 펌프, 원치 않는 가스를 제거하기위한 제거 장치 (purging unit) 가 가능합니다. 고급 센서는 시스템 전체에서 온도, 압력, 흐름을 실시간으로 모니터링합니다. KOKUSAI Quixace는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 온도가 용광로 챔버 (furnace chamber) 외부에 있고 개인 부상 위험을 줄이기 위해 외부 온도가 특징입니다. 또한 진공 인터 록 (vacuum interlock), 비상 정지 스위치 (Emergency Stop Switch) 및 UL 상장 안전 컨트롤러가 있어 안정성과 안정성이 향상되었습니다. 경계 온도 컨트롤러, 고온 확산 로, 액세서리 스위트를 결합하여 Quixace (Quixace) 는 반도체 제조에 이상적인 솔루션입니다. 까다로운 재료, 신뢰할 수 있는 대기 제어, 안전 기능, 고급 디지털 난방 및 냉각을 위한 정확한 온도 조절을 통해, KOKUSAI Quixace는 재현이 가능하고 반복 가능한 프로세스 제어를 보장하며, 이를 통해 고객의 모든 고급 반도체 프로세싱 요구 사항을 충족할 수 있습니다.
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