판매용 중고 KOKUSAI Quixace #293600391

KOKUSAI Quixace는 연구 개발, 교육 실험실 및 상업 생산에 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 제품입니다. 웨이퍼 레벨 진공-어닐링 장치이며, 산화, 질화, 열 어닐링, 건조 산화 등 광범위한 확산 프로세스에 적합합니다. 확산 용광로는 최대 1500 ° C의 온도를 유지할 수있는 독특한 어닐링 챔버 (annealing chamber) 로 구성됩니다. 최대 3 개의 챔버를 동시에 3 개의 웨이퍼 처리에 사용할 수 있습니다. Quixace의 Graphite Fiber Reinforced Plastic Cabinet은 열의 효율적인 발산을 보장하기 위해 매우 신뢰할 수있는 단열재를 제공합니다. 용광로는 78% Aluminum, 19% Copper 및 3% Aluminum Foil로 구성된 확산 반사기를 사용하여 열 및 산화 과정이 균일하게 분포되어 있는지 확인합니다. 또한, 반사기 는 그 과정 에서 생성 되는 고온 으로부터 장비 를 차폐 시킨다. 최적의 결과를 보장하는 다른 기능으로는 공기 간격 열 쉴드 (air gap heat shield) 가 있으며, 샘플 표면에서 온도 균일성이 ± 3 C 이하입니다. 수동 열 조절 장치 (Manual Heat Control) 와 타이머 (Timer) 는 모두 프로시저를 모니터링하는 세트에 포함되어 있습니다. KOKUSAI Quixace에는 또한 어닐링 프로세스를 안정적으로 유지하는 데 도움이되는 진공 장비가 있습니다. 루츠 (Roots) 형 루트 진공 펌프와 확산 펌프를 하나의 패키지로 결합한 다단 회전 형 펌프입니다. 이 시스템은 1 x 10-3 ~ 5 x 10-3 Torr의 진공 범위를 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 배기 장치 는 공정 중 에 산소 함량 을 조절 하는 데 도움 이 되며, 또한 "가스 '를 약실 에서 제거 하는 일 도 한다. 고품질 성능을 유지하기 위해, 여러 개의 센서가 컴퓨터에 통합됩니다. 그것 은 열전대 "센서 ', 압력" 센서' 및 약실 의 온도, 압력 및 유속 을 조절 하는 질량 의 흐름 "센서 '로 이루어져 있다. 게다가, 장비는 또한 어닐링 (annealing) 프로세스의 안정성을 보장하고 손상이 발생하지 않도록 작동하는 고급 안전 도구 (Advanced Safety Tool) 를 갖추고 있습니다. Quixace (Quixace) 는 신뢰할 수 있고 확실한 결과를 제공하는 연구 개발, 교육 실험실, 상업 생산에 귀중한 도구입니다. 또한 어닐링 프로세스 (annealing process) 동안 일관된 정확성과 안정성을 제공하여 정확한 결과를 얻을 수 있습니다.