판매용 중고 KOKUSAI Quixace II #9384022

KOKUSAI Quixace II
ID: 9384022
Vertical furnace Process: ALD TiN.
KOKUSAI Quixace II는 최첨단 고성능 확산 로와 보조 장비입니다. 산업용 (Industrial Use) 을 위해 설계된 이 제품은 웨이퍼 (Wafer) 제작 및 확산 프로세스가 필요한 기타 어플리케이션에서 최고 수준의 성능을 제공합니다. KOKUSAI QUIXACE-II (KOKUSAI QUIXACE-II) 는 다양한 옵션과 업그레이드를 통해 다양한 애플리케이션에 적합하며, 특정 요구 사항에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 용광로 자체는 4 개의 석영 텅스텐 할로겐 램프로 가열되는 6 인치 직경의 진공 챔버로 구성됩니다. 램프는 열 강도 및 주기 작동이 프로그래밍 가능한 온도 범위 (200C - 1050C) 를 제공합니다. Quixace II는 가스 주입 및 배기 시스템 (exhaust system) 을 갖추고 있어 정밀한 가스 농도 조절과 램프 및 액세서리를 신속하게 교체하기위한 충전 장비를 갖추고 있습니다. 작동에 필요한 보조 장비에는 운영자 콘솔 (Operator Console), 가스 패널 (Gas Panel) 및 임베디드 개인용 컴퓨터 (Embedded Personal Computer) 가 연산자 콘솔 (operator console) 을 사용하여 프로그래밍 가능한 연산값을 선택하고 입력할 수 있으며, 가스 (gas) 패널은 확산 가스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 임베디드 개인용 컴퓨터 (Embedded Personal Computer) 는 레시피를 프로그래밍하고 저장하는 데 사용되며, 원격 PC에서 전체 시스템을 제어할 수 있는 고급 네트워킹 기능을 제공합니다. Quixace II는 또한 프로세스 및 결과에 대한 테스트 및 모니터링을 용이하게하기 위해 다양한 연결 및 감각 포트를 제공합니다. 포트는 thermocouple, barcode reader, mass-flow controller, 3D profilometry 및 기타 다양한 원격 감지 장치에 연결할 수 있습니다. 또한 QUIXACE-II 에는 압력 센서, 제한 스위치, 열 센서, 긴급 차단 스위치 등 다양한 안전 기능이 포함되어 있습니다. 안전 장치 (Safety Systems) 는 응급 또는 오작동 시 장치를 비활성화하도록 설계되었습니다. KOKUSAI Quixace II는 높은 수준의 성능과 안전을 제공하는 뛰어난 기계입니다. 광범위한 보조 장비와 결합된 넓은 모듈식 디자인 (spacious and modular design) 은 산업 및 연구 환경에서 확산 처리에 이상적인 선택입니다. 강력한 구성과 안정적인 운영을 통해 KOKUSAI QUIXACE-II는 모든 확산 프로세스에 귀중한 도구입니다.
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