판매용 중고 KOKUSAI Quixace II #9384016

KOKUSAI Quixace II
ID: 9384016
Vertical furnace Process: ALD TiN.
KOKUSAI Quixace II는 고급 기술과 재료를 통해 달성 된 견고한 디자인의 확산 로입니다. 이 확산 로에는 효율적이고 안정적인 운영을 위해 여러 설치가 있습니다. 범용 프레서 암, 로딩 암, 배기 포트가 포함 된 3 단계 설치입니다. 이들 각각은 뛰어난 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 유니버설 프레서 암 (Universal Presser Arm) 은 광범위한 응용프로그램 (Application) 기능을 갖추고 있으며 효율적인 확산 처리를 위해 다양한 기판에 압력을 가할 수 있습니다. 조정 가능한 압력 범위와 조정 가능한 로딩 각도가 있으므로 유연한 작동이 가능합니다. 조절 가능한 로딩 각도는 기판 크기에 따라 특히 유용하므로, 누르는 시간이 짧아지고, 처리량이 높아집니다. 로딩 암은 기판 조작 및 전송 기능을 제공합니다. 기판을 용광로로 정확하게 운반하기위한 적재 챔버 (loading chamber) 와 다이 박스 (die box) 가 있습니다. 배기 항구는 효율적인 환기를 제공하도록 설계되어, 공기 입자의 오염 위험을 줄입니다. 커다란 용광로 "인테리어 '는 온도 분포 가 균일 한 것 으로 설계 되어 전 지역 에 걸친 공정 도 보장 해 준다. 따라서 주기 시간이 단축되고 처리량이 늘어납니다. KOKUSAI QUIXACE-II에는 여러 안전 기능도 장착되어 있습니다. 긴급 상황 (Emergency Shut-off) 스위치는 긴급 상황 시 시스템 전원을 끄고, 온도 증가, 압력, 기타 매개변수 등 주요 성능 지표를 추적하는 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 이것은 부적절한 작동이나 오작동으로 인한 사고를 예방하는 데 도움이됩니다. 사용자 인터페이스는 작동하기 쉽고, 특정 실험실 환경에 맞게 조정됩니다. 직관적 인 "디자인 '과 색깔 의 사용 은 이해 하고 읽기 가 쉽다. 전반적으로 Quixace II는 안정적이고 효율적인 확산 로로, 환경 영향을 줄이기 위해 에너지 절약 기술로 설계되었습니다. 다용도 운영 및 안전 기능으로 인해 실험실 및 산업 응용에 완벽한 선택이 가능합니다.
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