판매용 중고 KOKUSAI Quixace II #9382773
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ID: 9382773
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Vertical LPCVD Furnace, 12"
Model: DJ-1206VN-DF
Process: Si3N4 / Multi
(2) FOUP Robotic loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: DCS, Ammonia, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(6) Boxes
Gas
Power
Bonnet
Heater
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Pump
scrubber
Associated components: Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 3 Phase, 60 Hz, 250 A
120 VAC, Single Phase, 60 Hz, 60 A
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II는 확산 로와 액세서리로, 일관되게 우수한 품질의 구성 요소를 생산하는 데 이상적입니다. KOKUSAI QUIXACE-II는 광범위한 소재와의 최대의 프로세스 제어, 안정성, 호환성을 제공하도록 설계되었습니다. Quixace II는 일관된 난방 및 냉각을 보장하는 효율적인 열 시스템을 갖추고 있습니다. 공정의 균일성을 보장하는 데 도움이 되는 고정밀 쿼츠 (high-precision) 서모커플을 사용하여 처리 온도를 모니터링하고 제어합니다. 정밀한 온도 분배가 기록되고 유지되도록 하는 특화된 제어 시스템 (Specialized Control System) 은 고성능 어플리케이션과 대용량 생산 요구사항에 이상적인 선택입니다. QUIXACE-II 확산 로는 또한 소형 설치 공간을 자랑하며, 간편한 수송 및 설치를 위해 편리하게 휴대할 수 있습니다. 그것 은 여러 환경 상태 에서 작동 할 수 있으며, 위험 할 수 있는 "가스 '가 매우 다양 하다. "퍼니스 '는 또한 확산 과정 중 에" 가스' 흐름 의 흐름 과 조성 을 감시 하고 조절 하는 통합 "가스 '조절 장치 를 갖추고 있다. 이는 정확한 확산 속도와 정확한 구성 제어를 보장하여 생산성을 향상시킵니다. 또한 KOKUSAI Quixace II에는 가스 박스, 가스 샘플링 장치 등 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 마지막으로 KOKUSAI QUIXACE-II에는 트리플 잠금 케이스 (Triple-Lock Enclosure) 및 비상 정지 버튼 (Emergency Stop Button) 과 같은 포괄적인 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이 기능들은 안전하고 효율적인 확산 과정을 보장하고, 유해한 가스와 입자 오염물질을 환경에 방출하는 것을 방지합니다. & # 160; 전반적으로 Quixace II는 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하는 다목적 확산 로와 액세서리입니다. 균일하고, 정밀도가 높은 확산 프로세스 (diffusion process) 와 대용량 생산 요구사항을 활용하고자 하는 사람들에게 이상적인 솔루션입니다.
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