판매용 중고 KOKUSAI Quixace II #9382771
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판매
ID: 9382771
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2014
Vertical LPCVD furnace, 12"
Model name: DJ-1236-DF
Process: ALD SiO2
(2) Robotic FOUP loading stations
Precursors / Reagents / Catalyst: Pyridine, HCD, Water
Purge gas: Nitrogen
Cleaning gas: Nitrogen Tri-fluoride
DC Power supply: 24 VDC, ±15 VDC
(7) Boxes
Power box
Gas box
Source/Bubbler box
Bonnet
Heater
Refill stations
Tweezers
EDA Box and cover
Front end exhaust damper cover
Bridge includes SSR
Power cables included
Boat plates and screws
Heater upper doors
Water dead man panel
Manual
L/A Exhaust and elbow
Handy terminal
(5) Foreline cages
Gas box elbow
Foreline clamp box
Cable duct [L/A crossover]
Loose gas line and flex lines
RHC Exhaust duct and panels
BG Lines
RHC Metal flex duct
RHC Metal duct cover
Connecting duct
Tube flange
Exhaust pipe
Exhaust union
Injector heaters
RHC Damper packing
RHC Damper block
RHC Adiabatic blocks
Injector stand offs
TC Stand off
Flange clamp insulators
Heater insulators
(2) Fore line clamps
(2) Teflon cushions
Tweezers
Fore line clamp bolt
Teflon tube pins
Joint plate assembly
Axis fixing jig
Front body support jig
Utility support jig
Buffer rack support jig
Power sub-systems:
Vacuum gauges
Sensors
Compressed air valves
PLC I/O (Analog and digital)
Device net
Ethernet and MFC’s
Does not include:
Pump
Scrubber
Capacitance manometer
Precursor bottles or connecting lines
Missing parts:
QUARTZ Boat
Reactor
Adiabatic plate
Mounting nuts and bolts
Power supply:
480 VAC, 60 Hz, 300 A, 3 Phase
120 VAC, 60 Hz, 30 FA, Single phase
2014 vintage.
KOKUSAI Quixace II (KOKUSAI Quixace II) 는 전문적인 수준의 재료 처리를 위한 비용 효율적이고 안정적인 솔루션으로 개발된 혁신적인 고성능 확산 로와 장비입니다. 강력하고 효율적인 모터로 설계된 이 고품질 로는 다양한 재료를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다 (영문). 스테인리스 스틸 (stainless-steel) 구조 및 세라믹 절연 시스템은 온도 정확도를 유지하면서 열 손실을 최소화하여 기판 재료의 가열까지 허용합니다. 이 퍼니스에는 디지털 PLC와 터치 친화적 인 HMI (HMI) 가 완전하여 사용자 친화적 인 작동 및 정확한 온도 조절이 가능합니다. 직관적이고 강력한 제어 장치 (Control Unit) 는 각기 다른 재료에 대해 사용자 정의 온도 프로그래밍을 허용하는 한편, 빠른 조정과 정확한 설정 모니터링을 지원합니다. 또한, 용광로에는 실시간 결함 보호기 (real-time fault protection machine) 가 장착되어 있으며, 비정상적인 온도 또는 조건이 감지 될 때 운영자에게 경고합니다. 포함 된 냉각 도구 (cooling tool) 는 또한 과도한 온도로 인해 손상으로부터 처리되는 재료를 보호하기 위해 설계된 저온 (low-in) 및 고온 (high temperature) 수준의 내장 작업으로 매우 효율적입니다. 특수 설계 된 야외 구조 (open air structure) 는 또한 용광로 내부 구성 요소의 이슬점 관련 부식을 크게 줄입니다. 또한 KOKUSAI QUIXACE-II (KOKUSAI QUIXACE-II) 는 다양한 액세서리를 제공하여 쉽게 부착 및 제거하여 자산을 추가로 사용자 정의할 수 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 명확한 관측 창으로 구성되어 있으며, 최고 온도 적용을 위해 쿼츠 유리 모델을 사용할 수 있습니다. 저열량 (low thermal mass), 고열 질량 (high thermal mass), 고알루미나 광섬유 (high alumina fiber) 옵션 등 다양한 작동에 적합한 다양한 인슐레이션 구성을 사용할 수 있습니다. 4 점 프로브 하네스, 수위 감지 및 냉수 정화 장치와 같은 다른 액세서리도 사용할 수 있습니다. 요약하면, Quixace II는 고성능, 신뢰성, 경제적인 확산 광로 솔루션을 찾는 전문가에게 이상적인 선택입니다. 효율적인 전원 공급 장치, 직관적인 제어 모델, 뛰어난 냉각 기능, 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 처리 재료의 효율성과 안정성을 극대화할 수 있습니다.
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