판매용 중고 KOKUSAI Quixace II #9027427

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ID: 9027427
웨이퍼 크기: 12"
Vertical furnace, 12" Single tube Product load size: 125 Rapid Heating / Cooling (RHC) Boat rotation SEMI S2-0200E compliance Main and sub (rear) operation controllers Main controller: CX5000 SEMI EDA capability Dual boat 125 WLS Integrated Gas System (IGS) type: Fujikin 1.125" RHC1 upgrade Quartzware (1st set) Rear operation panel (2) Hard gas pattern panels HPM (toxic gas) interlock POD ID reader (AdvanTag GATEWAY HSMS) OHT capability Exhaust APC Boat rotation type: N2 purged rotation Self gas cleaning EEMS CX-9800 server capacity and license Options: Canister (BK1200) for TiCl4 Bubbler (VG600W).
KOKUSAI Quixace II는 첨단 확산 로이자, 용광로 온도 매개변수를 정확하고 정확하게 제어할 수 있도록 설계된 액세서리입니다. 이 중장비는 산화물, 질화물, 탄소-기질 확산 공정을 포함한 광범위한 산업 공정에 적합합니다. 견고한 구조는 최대 1200 ° C (2192 ° F) 의 넓은 작동 온도 범위를 가진 견고한 강철 프레임으로 구성됩니다. 고급 PID 온도 컨트롤러는 자체 조절 조정 시스템 (self-regulating adjustment system) 을 갖추고 있어 정밀한 열 소스 이동 및 온도 유지 관리를 보장합니다. KOKUSAI QUIXACE-II는 또한 타임 스텝 제어 (timestep control) 및 실시간 온도 모니터링을 통해 일관된 온도 일관성을 제공하여 제품 수율과 정밀도를 높입니다. 선택적 쿼츠 카운터 (quartz counter) 와 함께, 퍼니스는 난방 모드 또는 냉각 모드 모두에서 작동하여 더 빠른 열 주기를 가능하게합니다. 이 용광로는 메인 파워 (main power) 로 구동되며 사용자 안전을위한 비상 정지 (emergency stop) 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 2 단계 자기 안전 스위치 메커니즘, 압력 제어를위한 압력 스위치, 낮은 온도 유지를위한 냉각 팬, 안전한 균질 열 처리를 위한 화염 방지 도어 (flame-proof door) 가 장착되어 있습니다. 이 정교한 생산 장치는 편의를 위해 여러 가지 자동 기능을 제공합니다. 대용량 내부 용량은 생산성 향상, 인체 공학적 작업 표면 (ergonomic work surface) 을 통해 확산 프로세스를 손쉽게 관리할 수 있습니다. 쿼이 스 II (Quixace II) 는 정밀 제어 온도를 위해 다양한 재료를 지원하며 높은 안전 표준을 가진 자체 모니터링 머신을 갖추고 있습니다. 고급 압력 제어 도구 (Pressure Control Tool) 는 에너지를 절약하는 동시에 비용을 절감하는 데 도움이 됩니다. 이 자산은 최대한의 안전성과 최대한의 효율성을 위해 설계되었으며, 산업용 (Industrial Grade) 확산 로에 이상적인 선택입니다.
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