판매용 중고 KOKUSAI Quixace II Poly #9371905

KOKUSAI Quixace II Poly
ID: 9371905
웨이퍼 크기: 12"
Vertical furnace, 12".
KOKUSAI Quixace II Poly는 고성능 진공 부품을 생산하도록 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 혁신적인 도구 (Innovative Tool) 는 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족할 수 있는 다양한 기능을 자랑합니다. Quixace II Poly에는 내부 열 쉴드 (heat shield) 가있는 티타늄 도금 용광로가 장착되어 있어 열 스트레스에 대한 보호 기능이 향상되고 고성능 작동이 보장됩니다. 또한 내장 어닐링 프로그램, 프로그래밍 가능한 온도 곡선, 일관된 온도 제어 시스템, 기판의 정밀 난방 및 냉각을위한 온도 복구 시스템 (temperature recovery system) 이 있습니다. 또한, 이 도구는 빠른 냉각 기능을 제공하여 생산성 향상을 위한 빠른 어닐링 (annealing) 주기를 제공합니다. 또한, KOKUSAI Quixace II Poly는 조종 된 대기, 먼지 및 연기 추출뿐만 아니라 안전 중심의 설계를 가지고 있으며, 운영자에게 최적의 건강 및 안전 조건을 보장합니다. 대피 장치와 안전을위한 진공 타이트한 더블 실링 챔버가 있습니다. 또한, Quixace II Poly에는 물 스프레이 보호 시스템이 장착되어 냉각시 열 손상으로 인한 웨이퍼를 차단합니다. 애플리케이션 측면에서 KOKUSAI Quixace II Poly는 반도체, 박막 장치 및 기타 고성능 진공 부품 생산에 적합합니다. 신기술 연구개발 (R&D) 에도 이상적이다. 고온으로 재료를 가열할 수 있기 때문이다. 요약하면, Quixace II Poly는 고성능 작동을 위해 설정된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 고급 안전 중심의 디자인은 프로그래밍 가능한 온도 곡선, 어닐링 프로그램, 안전 대피 장치 (Safety Evacuation Device) 를 갖추고 있으며 냉각 중 열 손상에서 웨이퍼를 차단합니다. 반도체, 박막 장치, 기타 고성능 진공 부품 생산에 적합하다.
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