판매용 중고 KOKUSAI Quixace II Poly #293666959

KOKUSAI Quixace II Poly
ID: 293666959
Vertical furnace.
KOKUSAI Quixace II Poly는 최대 온도 500 ° C 및 최대 공정 온도 1450 ° C를 제공하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 로에는 공기 순환 장비가 내장되어 있어 온도와 공정 시간 (process time) 을 최대한 조절할 수 있으며, 운영 비용도 절감할 수 있습니다. 또한 통합 퀸치 냉각 시스템 (quench cooling system) 이 장착되어 있어 확산 프로세스 후 기판을 빠르게 식힐 수 있습니다. Quixace II Poly는 유전체 흑연 가열 챔버를 특징으로하여 한 번에 최대 8 개의 기판을 효율적으로 확산 할 수 있습니다. 그 거대 한 가열 "챔버 '는 기판 에 충분 한 공간 을 제공 해 주며, 확산 과정 을 위한 통제 된 환경 을 마련 해 준다. 챔버에는 저압 (최대 0.2 torr) 과 온도의 정밀 제어를위한 효율적인 흑연 가열 요소가 있습니다. 이 장치에는 확산 프로세스 (diffusion process) 를 제어하고 모니터링하기 위한 직관적인 소프트웨어 패키지도 장착되어 있습니다. 소프트웨어 패키지에는 선택한 확산 프로세스를 쉽게 설정할 수 있는 레시피 마법사 (Recipe Wizard) 와 프로세스 조건을 실시간으로 볼 수 있는 모니터 모드 (Monitor Mode) 기능이 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어에는 자동 교반 및 가스 제어를 통해 운영 비용을 최적화하는 경제 모드 (Economic Mode) 도 포함되어 있습니다. KOKUSAI Quixace II Poly는 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 압력 연동 기계와 열 보호 기능이 있습니다. 이러한 보호 (safeguard) 는 확산 프로세스가 항상 최고의 품질 표준에 따라 안전하게 수행되도록 합니다. 이 도구는 또한 확산 프로세스를 추가로 제어하기 위해 O2/N2, N2/H2 및 Ar/O2와 같은 다양한 공정 가스 기능을 갖추고 있습니다. Quixace II Poly (Quixace II Poly) 는 효율적이고 신뢰할 수있는 확산 로이며, 사용자에게 뛰어난 확산 프로세스를 제공하도록 설계된 액세서리입니다. 유전체 흑연 난방 챔버, 직관적 인 소프트웨어, 안전 기능 (safety feature) 과 같은 특징은 다양한 확산 응용 프로그램에 적합하며, 비용 효율과 온도 정밀도는 현명한 투자가됩니다.
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