판매용 중고 KOKUSAI / HIKE Vertex DD-803V #293592871

KOKUSAI/HIKE Vertex DD-803V는 산업 등급 확산 로와 관련 액세서리입니다. 반도체 산업에서 사용하기 위해 특별히 설계된 DD-803V (DD-803V) 는 장치 제작 중 에피 택시 층 형성 및 웨이퍼의 열 산화에 사용된다. 빠른 열 어닐링과 빠른 냉각에 적합합니다. DD-803V는 최대 작동 온도 1,400 ° C, 초당 -5 ° C ~ + 150 ° C의 고속 냉각 속도로 프로세스 재현성 및 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 통합 확산 난방 요소는 텅스텐 난방 요소가있는 붕소 질화물 (BN) 시멘트 기반 세라믹 재킷을 사용합니다. 이 조합은 뛰어난 열 균일성, 빠른 가열 및 냉각 속도, 향상된 웨이퍼 프로세스 균일성을 제공합니다. 용광로는 스테인리스 스틸 (Stainless-Steel) 재료로 구성되며, 절연 장비로 최대 온도 안정성을 제공합니다. 진공 챔버는 316/304 등급 스테인리스 스틸로 구성되며, 미립자 오염 감소를위한 선택적인 PBN (pyrolytic boron nitride) 라이너가 있습니다. DD-803V에는 프로세스 제어 컴퓨터와 HMI (Human-Machine Interface) 가 장착되어 있어 프로세스를 관리하고 모니터링합니다. 이 최첨단 시스템은 챔버 온도 및 압력 모니터링, 그리고 스테이션 프로세스 단위 데이터 (en station process unit data) 를 특징으로합니다. HMI에는 연산자 오류, 비정상적인 작동 조건 및 고로 온도에 대한 보호 인터 록 (interlock) 이 포함되어 있습니다. 또한 DD-803V에는 배기 기계, 핸들로드 박스, 공정 로드 카세트, 쿼츠 보트, 충분한 프로세스 장비 등 다양한 보조 품목이 포함되어 있습니다. 전체 도구는 사용 편이성과 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 전반적으로 HIKE Vertex DD-803V 자산을 사용하면 디바이스 제작의 정확하고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. DD-803V (Interchangable Model Architecture) 와 고급 프로세스 제어를 통해 DD-803V 는 반도체 장치의 고급 제조에 적합합니다.