판매용 중고 KOKUSAI / HIKE DD-803V #293643501

KOKUSAI/HIKE DD-803V 확산 로와 액세서리는 정확한 온도 조절 및 고급 기능을 제공하도록 설계된 첨단 로입니다. 반도체, MEMS 및 기타 관련 프로세스에 사용되는 재료의 정제 및 증착을 위해 설계되었습니다. 퍼니스는 PECVD 및 ALD 프로세스 응용 프로그램뿐만 아니라 도펀트 확산에 이상적입니다. HIKE DD-803V에는 각 영역의 온도 범위, 가스 유량 및 흐름 방향 제어를 포함하여 정밀 온도 제어를 위해 3 개의 별개의 영역이 있습니다. 따라서 별도의 고온 및 저온 프로세스가 필요 없이 현장 (in-situ) 상태를 시뮬레이션할 수 있습니다. 또한 별도의 냉각 존 (cooling zone) 이 제공되므로 프로세스 후 빠른 냉각이 가능합니다. 용광로 (furnace) 는 최대 2000 ° C의 강력한 가열 요소로, 특정 컴포지션을 가진 초박형 레이어 (ultra-thin layer) 와 레이어를 동일한 실행으로 처리할 수 있습니다. 또한 용광로 바닥과 가공 챔버 (processing chamber) 로 순환 된 풀 플로우 가스 (full-flow gas) 공정이 제공되어 온도 조절도 가능합니다. KOKUSAI DD-803V에는 PLC (Digital Programmable Logic Controller) 및 RS485 통신이 장착되어 있으므로 사용자가 쉽게 다른 프로세스를 프로그래밍하고 시스템을 조정할 수 있습니다. 자동 진단 (auto-diagnostics) 기능을 통해 사용자는 퍼니스를 열지 않고도 컴퓨터 또는 모바일 장치에서 시스템 상태를 확인할 수 있습니다. DD-803V 는 고급 (advanced) 기능 외에도 다양한 안전 (safety) 기능을 갖추고 있으며, 온도가 사전 설정된 범위를 초과하면 과열 방지 (overheat protection) 및 경보 시스템 (alarm system) 이 제공됩니다. 또한 비상 정지 제어, 비상 차단 및 자동 구호 밸브가 제공됩니다. KOKUSAI/HIKE DD-803V 확산 로와 액세서리는 사용자에게 프로세스를 위해 안정적이고 정확하며 안전한 환경을 제공합니다. 프로그래밍 가능한 로직 컨트롤러 (logic controller), 고급 안전 기능 및 온도 범위를 통해 사용자는 매번 품질 (quality result) 을 보장합니다.