판매용 중고 KOKUSAI / HIKE DD-803V #293642844
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KOKUSAI/HIKE DD-803V는 다이 및 웨이퍼 처리를 간소화하도록 설계된 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 "시스템 '은 고급 난방 방법 을 이용 하여" 이온' 과 화합물 을 "웨이퍼 '혹은" 웨이퍼' 기판 으로 신속 히 운반 하여 그 과정 의 효율성 과 균일성 을 향상 시킨다. HIKE DD-803V는 상단 및 하단 열 사이클링을 특징으로하는 수직 인라인 로입니다. 이 장치를 사용하면 한 시스템에 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 를 일괄 처리할 수 있으므로 시간과 인건비를 절감할 수 있습니다. DKM FS-48 컨트롤러는 모든 난방 프로세스를 관리하며, 정확하고 일관된 설정 포인트를 제공합니다. 균일 한 온도 는 전체 주기 전체 에 걸쳐 유지 되어, 일관성 있고 신뢰 할 수 있는 결과 를 보장 해 준다. 이 도구에는 확산 프로세스 데이터를 기록하는 디지털화 된 온도 제어 (digitized temperature control) 가 장착되어 있어 반복성과 정확한 온도 조절이 가능합니다. KOKUSAI DD-803V는 알루미늄, 붕소 및 인, 비소 및 규산 확산을 포함한 모든 유형의 확산 프로세스를 수행하는 데 이상적입니다. 에셋은 또한 쿨 다운 라우팅 (cool-down routing) 을 특징으로하며, 이는 웨이퍼의 손상을 방지하고 균일 한 프로세스 결과를 보장합니다. 순환 공기 재킷은 온도를 균일하고 정확하게 유지하고, 또한 에너지를 보존합니다. 야외 연결은 확산 처리 중 웨이퍼 보호를 위해 정확한 질소 침투를 허용합니다. DD-803V는 고품질 스테인리스 스틸로 구성되며, 향상된 확산 환경을 제공합니다. 온도 조절 범위는 섭씨 700 ° 에서 섭씨 1250 ° 입니다. 선택적 냉각 챔버는 웨이퍼의 냉각 단계 처리에 사용할 수 있습니다. 냉각 챔버 (Cooling Chamber) 는 최적의 온도 범위에서 프로세스가 가능한 한 효율적으로 완료되도록 웨이퍼를 균등하게 냉각시키는 혁신적인 설계를 특징으로합니다. KOKUSHAKOKUSAI/HIKE DD-803V는 정확하고 반복 가능한 확산 처리를 제공하는 강력하고 효율적인 액세서리 모델입니다. 이 장비는 사용자에게 온도 매개변수 (temperature parameters) 의 궁극적 인 제어를 제공하기 위해 고안되었으며, 이를 통해 다이 (die) 와 웨이퍼 (wafer) 를 정확하고 균일하게 처리 할 수 있습니다. KOKUSHAHIKE DD-803V는 빠르고 정밀한 처리 결과를 달성하기 위한 이상적인 도구입니다.
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