판매용 중고 KOKUSAI / HIKE DD-1223V #293643295

ID: 293643295
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2001
Furnace, 12" Process: Pyro 2001 vintage.
KOKUSAI/HIKE DD-1223V는 고급 확산 로로, 실험실 연구에서 반도체 제조 및 기타 산업 공정에 이르기까지 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 16 인치 직경의 흑연 튜브를 갖춘 이 확산 로는 최대 5 개의 웨이퍼를 수용 할 수있는 크고 오래 지속되는 진공 챔버를 제공합니다. 낮은 열 복사 알루미늄 절연 및 흑연 용광로 챔버 (graphite furnace chamber) 는 우수한 온도 균일성과 상대적으로 높은 열 플럭스를 보장합니다. HIKE DD-1223V 확산 로는 다양한 온도 설정 및 제어 기능을 제공합니다. PID + SSR 온도 컨트롤러는 뛰어난 온도 정확성과 안정성을 보장합니다. PTFE 절연체 (PTFE insulation) 와 세라믹 선반 (ceramic shelf) 은 꾸준한 열 플럭스 프로파일을 제공하여 열 농도를 방지하고 웨이퍼가 손상되지 않도록 보호합니다. 프로그래밍 가능한 Autosave 기능을 사용하면 이전 설정을 최대 10개까지 빠르게 리콜할 수 있습니다. 확산 용광로는 또한 전력 보호 및 경보 로거 (Alarm Logger) 시스템을 통합하여 온도 및 대기 경보 및 기타 작동 정보를 기록합니다. KOKUSAI DD-1223V 확산 로는 쿼츠 버블러, 터보 분자 펌프, 연속 가스 인젝터 등 다양한 액세서리와 통합 될 수 있습니다. 쿼츠 버블러 (quartz bubbler) 는 확산 주기 내내 퍼니스에서 저압을 유지하는 데 도움이되고, 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 는 고온 과정에서 초저압 (ultra-low level) 을 유지하는 데 도움이됩니다. 연속 가스 주입기는 확산 과정에 대한 정확하고 일관된 가스 주입을 허용합니다. DD-1223V 확산 로에는 자세한 사용자 설명서도 포함되어 있습니다. 본 설명서에는 안전 방지, 유지 보수, 문제 해결 정보, 운영 관련 지침이 수록되어 있습니다. 또한 사용자 설명서에서는 안전 기능 (예: 내장 수냉식 시스템) 과 시스템을 종료할 수 있는 경계 센서 (예: 비상 상황) 에 대해서도 설명합니다. 또한 이 설명서에서는 자동 저장 (Autosave) 기능과 지연, 지우기, 램프 시간 설정 등을 포함한 용광로 제어 프로세스에 대해 설명합니다. 전반적으로 KOKUSAI/HIKE DD-1223V 확산 로는 고급, 신뢰할 수있는 확산 로로, 연구실과 산업 회사의 요구를 모두 충족하도록 설계되었습니다. 광범위한 기능, 광범위한 온도 조절 기능, 강력한 안전 측정, HIKE DD-1223V 확산 로는 모든 확산 프로세스에 적합한 선택입니다.
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