판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9284512

ID: 9284512
빈티지: 2001
Vertical LPCVD furnace 2001 vintage.
코쿠사이 DJ-853V (KOKUSAI DJ-853V) 는 다양한 기판 재료에 최고 품질의 열 처리를 제공하도록 설계된 확산 용광로 장비입니다. 그것은 어닐링, 합금, 산화 및 안정화, 높은 순도 재료의 확산에 적합합니다. 직경은 최대 8 "(203.2mm), 길이는 12" (304.8mm) 입니다. KOKUSAI DJ 853V는 2 단계 분할 시스템 설계로 구동됩니다. 위 단계 는 가열 및 냉각 온도 를, 아래 단계 는 "본드 '온도 와 확산 과정 의 시간 을 제공 한다. 고온 확산 과정을 위해 세라믹 핫 존 (ceramic hot-zone) 이 제공되고 챔버 오염을 줄이기 위해 가스 옵션이 증가했습니다. 또한, 진공 및 압력 PID 제어 시스템은 정확하고 안전한 확산 제어를 위해 표준으로 포함되어 있습니다. 이 장치에는 일관되고 안정적인 작동을 보장하기 위해 고급 수냉식 모터 드라이브 머신이 포함되어 있습니다. DJ-853V 는 로더 (옵션), 언로더 (언로더), 밀봉 도구 등 다양한 액세서리를 제공하여 처리량을 높이고 안전을 향상시킵니다. 밀봉 자산은 내부 공기 누출 (Air Leakage) 로 인한 결합 문제 가능성을 크게 줄이기 위해 설계되었습니다. 또한 프로세스 챔버 뷰 포트 (process chamber viewport) 와 같은 모델에 추가 컴포넌트를 추가할 수 있습니다. 프로세스 챔버 (process chamber) 뷰포트 (viewport) 는 프로세스 챔버 내부를 직접 보고 안전하고 효과적인 프로세스에 기여합니다. DJ 853V는 다양한 프로세스 컨트롤러 유형과 통합될 수 있습니다. 직관적인 프로덕션 제어 (Production Control) 소프트웨어가 포함되어 있는데, 이 소프트웨어는 고객의 생산성을 극대화하기 위한 포괄적인 패키지를 제공하도록 설계되었습니다. 본 소프트웨어는 프로세스 매개변수 및 결과 모니터링, 로깅 등 포괄적인 레시피 및 시퀀스 관리 기능을 제공합니다. 또한, 소프트웨어는 사용자 정의 머신 구성 및 프로세스 매개변수 (process parameter) 에 맞게 조정될 수 있으며, 특정 프로세스에 가장 적합한 결과를 찾을 수 있습니다. 요약하자면, KOKUSAI DJ-853V 는 매우 신뢰할 수 있는 확산 장비를 제공하며, 다양한 기능과 액세서리를 통해 효율성과 안전성을 극대화합니다. 품질 (Quality) 과 성능 (Performance) 이 필수적인 애플리케이션에 이상적이며, 변화하는 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다.
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