판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9273103

KOKUSAI DJ-853V는 효율적이고 경제적인 용광로 작동을 제공하도록 설계된 고급 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 제품은 가장 정교한 반도체 장치의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. KOKUSAI DJ 853V는 45 ° 경사 직선 챔버를 사용하며, 도펀트의 균일 한 확산을위한 균일 한 온도 환경을 제공합니다. 챔버 크기는 900mm × 600mm이며, 가열 영역은 6 면이며, 각 면은 최적의 온도 제어를 위해 독립적으로 설정됩니다. 또한 가열된 존 (zone) 은 3 개의 별도 구성 가능하고 상호 교환 가능한 핫 존 (hot zone) 으로 나뉘어 최대 유틸리티를 사용할 수 있습니다. 이벤트 서비스에서 핫 존을 분리할 수 있으며, 유지 보수가 필요합니다. DJ-853V (DJ-853V) 에는 저항성 난방 요소가 장착되어 있어, 열 효율이 높아 챔버 내부의 온도가 균일합니다. 작동 온도 범위는 실리콘, 저마늄, 갈륨 비소, 관련 화합물과 같은 물질과의 호환성을 가능하게합니다. 작동 온도 범위는 0 ° C ~ 1000 ° C입니다. 이 요소는 또한 최소 22 kW 전력 소비량을 제공하도록 설계되어 에너지 효율성이 높습니다. 또한 DJ 853V 는 가장 작은 설치 공간을 제공할 수 있는 수직 형상 설계를 제공합니다. 전체 장비는 설치, 운영 및 유지 보수가 쉽고, 효과적인 확산 작업을 위해 극저온 펌프 (cryogenic pump), 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 및 기타 필요한 구성 요소가 특징입니다. 또한 특정 응용 프로그램의 설정을 자동으로 최적화하는 고급 자동 조정 프로세스 (Advanced auto-tuning process) 도 포함되어 있습니다. KOKUSAI DJ-853V 는 또한 광범위한 안전 (Safety) 기능을 통합하여 장치가 원활하고 안전하게 실행되도록 합니다. 도구에 대한 무단 액세스를 방지하는 자동 잠금 장치 (Auto-Lock Machine) 와 종료 시 가열 영역 (Heating Zone) 에서 쿨 다운 효과를 제공하는 쿨 박스 에셋 (Cool box Asset) 이 특징입니다. 이 모델은 또한 저항성 가열 요소의 열 저항을 증가시키도록 설계된 할로겐 (halogen) 냉각 장비를 갖추고 있습니다. 요약하면, KOKUSAI DJ 853V는 최적의 확산 작업을 제공하기 위해 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 제품의 특징으로는 45 ° 경사 직선 챔버, 열 효율이 높은 저항 가열 요소, 0 ° C ~ 1000 ° C 사이의 온도 작동 범위, 작은 발자국이있는 수직 형상 디자인, 극저온 펌프, 터보 분자 펌프 및 고급 자동 튜닝 프로세스, 다양한 안전 기능. DJ-853V는 가장 정교한 반도체 장치에 이상적인 선택입니다.