판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9272628

KOKUSAI DJ-853V는 일본의 KOKUSAI Electric Corporation에서 제조 한 확산 용광로 및 액세서리입니다. 특정 프로세스 요구 사항을 위해 설계된 산업 등급 확산로입니다. KOKUSAI DJ 853V 확산 로의 최대 온도 범위는 1500 ° C이며 턴테이블, 인사이트 보호 및 싱글 스테이션 제어를 포함합니다. 이 용광로는 저압 및 고진공 열 처리가 가능합니다. 고급 환경 보호 장치 (Environmental Protection Device) 가 장착되어 있으며 가볍고 내구성이 뛰어난 재료로 제작되었습니다. 턴테이블 (turntable) 은 챔버의 웨이퍼를 회전시키는 반면, 전체 샘플에서 일정한 온도를 유지합니다. 턴테이블은 또한 균일 성을 향상시키고 드리프트를 줄이는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 내부 온도를 모니터링하고 샘플의 과열 또는 성능 저하를 방지하는 데 사용되는 현장 (in-situ) 보호기 (protector) 도 포함되어 있습니다. 단일 스테이션 제어를 통해 확산 열 처리를 정확하고 쉽게 제어할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 온도, 시간, 대기 등의 매개변수를 필요에 따라 정확하게 설정할 수 있습니다. 고급 온도 조절 기술 (Advanced Temperature Control Technology) 은 챔버의 균일 한 온도 분포와 안정적인 장기 결과를 보장합니다. DJ-853V 확산 퍼니스는 3.9kW 히터와 함께 제공되며, 난방과 정확성조차 완벽하게 제어합니다. 용광로는 유지 보수 및 청소가 용이하도록 설계되었습니다. 약실 은 "스테인레스 '강, 산화물" 알루미늄' 및 석영 으로 만들어져 고온 에 대한 내성 을 보장 하고 작동 중 에 최대한의 안전 을 제공 한다. 이 장치에는 또한 자외선 램프 (ultraviolet lamp) 가 포함되어 있는데, 이 램프는 챔버 벽을 청소하고 오염을 줄이는 데 사용됩니다. DJ 853V 확산 로는 매우 효율적이며, 한 번에 최대 30 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 용광로는 또한 다른 도구 및 기계와 통합되어 완전한 열 처리 공정을 수행 할 수 있습니다. 시각적 표시 (visibility and simple operation) 를 위한 커다란 시각적 디스플레이를 통해 편리하게 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 KOKUSAI DJ-853V 확산 로와 액세서리는 효율적이고 안정적인 열 처리 프로세스를 제공하며, 최대 안전성과 낮은 유지 관리를 보장합니다. 이 용광로는 산업용 어플리케이션에 이상적이며, 유연성, 성능 및 정확성을 제공합니다.