판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9206222

KOKUSAI DJ-853V 확산로 (DJ-853V) 는 다양한 반도체 제조 공정을 수행하면서 정밀한 온도 조절을 제공하기 위해 설계된 고급 도구입니다. 용광로 (furnace) 는 수직 및 수평 가열 요소와 활성 흐름 제어 (flow control) 를 사용하여 작업 챔버 전체에 균등하게 분산된 온도를 제공합니다. 선박의 견고한 진공 봉인은 고품질 운영 및 클린 룸 배출 제어 (cleanroom emission control) 준수를 보장합니다. KOKUSAI DJ 853V 확산 로의 표준 온도 범위는 200 ° C ~ 1300 ° C이며 특수 프로세스의 경우 선택적 온도가 높습니다. 직관적 인 온도 초점 시스템 (temperature focusing system) 은 여러 지점에서 빠른 온도 조절을 가능하게하며, 빠르게 변화하는 합금 온도에 적합합니다. 활성 흐름 제어 (Active Flow Control) 설계를 통해 정밀 온도 관리, 특히 다양한 확산 프로세스에 중요합니다. DJ-853V 는 또한 내장 암페어 (amperage) 조절기를 갖추고 있으며, 사용자가 정확하게 제어되는 전류 곡선을 위해 광범위한 어닐링 전류를 제어할 수 있습니다. 최대 4 개의 쿼츠 튜브 연결, 최대 3 개의 어닐링 존 및 2 개의 독립 가스 제어 밸브를 통해 DJ 853V는 다단계 어닐링 프로세스를 쉽게 처리 할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-853V는 고급 PID 제어 모니터로, 시간 및 현재 값을 추적하면서 현재 온도를 0.1 ° C의 고감도 해상도로 표시합니다. 또한 최대 500 개의 레시피 (레시피) 와 간편한 데이터 전송을 위한 USB 연결 및 이더넷 포트 (옵션) 를 제공합니다. 고품질 쿼츠 튜브 (quartz tube) 가 지속되고 압력 스위치, 공기 냉각 시스템 및 과열 보호 (over-temperature protection) 와 같은 수많은 안전 기능을 갖춘 KOKUSAI DJ 853V는 현대 반도체 제조 시설을위한 탁월한 확산 로입니다.