판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9205046

KOKUSAI DJ-853V는 반도체, 금속 유기 화학 증발 (MOCVD), 산화물 수동화 및 사전 확산 처리를 위해 설계된 고성능 확산 로입니다. 고집적 회로 개발을 위해 반도체· 전자제품 등에 광범위하게 활용되고 있다. KOKUSAI DJ 853V는 공기 또는 질소 공정 대기, 진공 종을 활용하는 완전 자동 확산 로입니다. 최대 처리 온도는 섭씨 120도이며, 시스템은 최대 75 개의 랜덤 프로그래밍 가능한 포인트를 가열 할 수 있습니다. 최대 1,100 ° C/min 속도의 단일 영역 컨트롤러 또는 최대 1,200 ° C/min의 2 영역 컨트롤러가 있습니다. DJ-853V에는 2/3의 텅스텐 또는 몰리브덴 가열 요소가 있으며 사파이어 또는 석영으로 만들어진 석영 뚜껑이 있습니다. 또한 온도 모니터링을위한 광학 피로미터가 장착되어 있습니다. 가동 중 안전성을 보장하기 위해 DJ 853V (DJ 853V) 는 진공 종소리 (vacuum bell) 와 열상 (heat up) 과 식히는 단계에서 누를 수있는 덮개로 설계되었습니다. 또한, 전방 "패널 '에 있는 압력" 트랜스미터' 를 장착 하여 용광로 의 압력 을 조절 한다. KOKUSAI DJ-853V에는 운영을 보완하는 다양한 액세서리가 있습니다. "버블러 '는 약실 에 제어 된 산소 흐름 을 공급 하는" 버블러' 와 더불어, 광역 한 화학 물질 과 "가스 '에 대한 정밀 한 온도 조절 과 여러 가지" 가스' 선 을 위하여 조정 할 수 있는 회전 "밸브 '를 제공 한다. 또한, 시스템은 작업 조각의 균일 한 가열을위한 석영 및 알루미나 감지기 (alumina susceptor) 를 장착 할 수있다. 마지막으로, 프로브 스테이션을 사용하여 퍼니스의 프로세스를 모니터링 할 수 있습니다. KOKUSAI DJ 853V 는 하드웨어/소프트웨어 패키지도 장착할 수 있으며, 원격 위치에서 사용자 운영 및 제어 기능을 제공합니다. 이러한 패키지에는 레시피, 프로그래밍 가능한 논리 컨트롤러 등을 만드는 소프트웨어 응용 프로그램이 포함됩니다. DJ-853V는 반도체 및 전자 산업을 위한 탁월한 다목적 확산로입니다. 고집적 회로 (HT) 개발 과정에서 제조업체와 디자이너들 사이에서 "효율적이고 안전한 운영 '이 대중화됐다. 신뢰할 수 있는 시스템, 강력한 기능을 통해 모든 제품의 최고 수준의 품질을 보장합니다 (영문).