판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #9048140

KOKUSAI DJ-853V
ID: 9048140
SiON LPCVD furnaces Configured with DCS/NH3/N2O High temp transformer, 1200°C.
KOKUSAI DJ-853V는 최첨단 확산 로와 액세서리로, 일관되고 정확한 처리 결과를 요구하는 고정밀 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 이 고급 퍼니스는 마이크로 일렉트로닉 (microelectronic) 및 광전자 (optoelectronic) 산업의 응용 분야에 이상적이며, 여기서 처리 매개변수에 대한 정확한 제어가 필요합니다. KOKUSAI DJ 853V에는 530 nm의 파장을 중심으로 한 빛의 스펙트럼을 방출하는 열원으로 복사 형 할로겐 램프가 장착되어 있습니다. 램프 (lamp) 에 의해 방출 된 거의 완벽한 스펙트럼 (near-perfect spectrum) 은 용광로가 램프 온도 및 스펙트럼 분포에 영향을 미치는 고유 시프트를 보상하지 않고도 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 이 확산 로는 방출 된 빛을 기판에 집중시키는 반사기 (reflector) 를 사용하여 고정밀 프로세스를 보장합니다. 이것 은 빛 을 반사 하여 "기판 '이 광학" 에너지' 의 양 을 정확 히 받아들여 최소 한 "프로파일 '의 분해 로 정확 한 결과 에 기여 할 수 있게 한다. 정확한 온도 조절을 위해 DJ-853V에는 최상위 온도 조절 시스템도 장착되어 있습니다. 이 시스템은 온도를 조절하기 위해 열전대 및 PID (비례 적분 파생 컨트롤러) 를 사용합니다. 열전대 들 은 기판 의 온도 를 측정 하는 반면, PID "컨트롤러 '는" 할로겐 램프' 의 온도 를 조정 하는 데 사용 된다. 또한, 이 확산 로에는 모든 프로세스 매개 변수를 제어하는 고급 타이머 (advanced timer) 가 장착되어 있습니다. 정확하고 신뢰할 수있는 시간표를 가능하게하며 지속적인 프로세스를 허용합니다. 또한 이 타이머 (timer) 는 마지막으로 사용된 매개변수를 기억할 수 있으므로, 사용자가 이전에 수행한 처리 작업을 쉽게 복원할 수 있습니다. 안전하고 고품질 프로세스를 보장하기 위해 DJ 853V에는 기판에 악영향을 줄 수있는 오존 생성 보호 시스템 (Ozone Generation Protection System) 이 장착되어 있습니다. 마지막으로, KOKUSAI DJ-853V를 배기 챔버에 설치하여 쉽게 통합 할 수 있습니다. 또한 사용자 친화적 인 작동 디스플레이가있는 직관적인 컨트롤 패널이 있습니다. KOKUSAI DJ 853V (KOKUSAI DJ 853V) 는 강력한 확산 로와 액세서리로, 매우 높은 수준에서 정확한 결과를 제공 할 수 있습니다. 고급 (Advanced) 기술을 활용하여 일관되고 정확한 프로세스 매개변수를 보장하며, 사용자가 쉽고 신뢰할 수 있는 정확한 프로세스를 수행할 수 있습니다.
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