판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #293648859

코쿠사이 DJ-853V (KOKUSAI DJ-853V) 는 반도체 부품을 정확하고 효율적으로 제작할 수 있도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 시스템은 주 장치, 전원 공급 케이블, 터치 스크린 디스플레이가 있는 제어 장치 (Control Unit) 로 구성됩니다. KOKUSAI DJ 853V의 챔버는 8 "직경이며 웨이퍼를 최대 5" 까지 처리 할 수 있습니다. 챔버 (chamber) 는 고순도 석영 튜브로 구성되며 특수 가스 타이트 밀봉으로 밀봉됩니다. 이것은 효과적인 온도 균일성과 빠른 응답 시간을 보장합니다. 이 장치는 최대 가열 속도 500 ° C/분으로 최대 1250 ° C의 온도를 제어 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 위에서 아래로 독립적 인 온도 조절을 가진 2 구역 온도 제어 도구를 갖추고 있습니다. 이 자산은 또한 반도체 부품의 효율적이고 정확한 제작을 위해 설계된 다양한 프로세스 옵션 (process option) 을 갖추고 있습니다. 여기에는 2 단계 설화 프로세스, 현장 난방 어닐링 프로세스 및 저압 RTA (Rapid Thermal Annealing) 프로세스가 포함됩니다. 설리제 프로세스에는 레이어 분리 프로세스 및 차등 확산 프로세스가 포함됩니다. 현장 난방 어닐링 프로세스는 구성 요소의 열 예산을 줄입니다. 저압 RTA 프로세스를 사용하여 처리 중 실리콘의 열 확산을 최소화 할 수 있습니다. DJ-853V에는 다양한 안전 기능도 포함되어 있습니다. 여기에는 OTP (Over Temperature Protection) 모델, 프로그래밍 가능한 안전 컨트롤러 및 비상 정지 버튼이 포함됩니다. OTP 장비는 시스템 온도 범위를 모니터링하여 안전한 작동을 보장합니다. 프로그램 가능한 안전 컨트롤러 (Safety Controller) 는 장치의 작동 매개변수를 모니터링하고, 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼을 사용하면 비상 사태가 발생할 경우 시스템을 신속하게 종료할 수 있습니다. 또한 DJ 853V 는 컴팩트하고 효율적인 설계를 통해 실험실의 설치 공간을 줄일 수 있습니다. 이 툴은 또한 다양한 맞춤형 (customizable) 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 사용자는 특정한 구성 요건에 맞게 자산을 조정할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 액세서리 (accessory) 와도 호환되며, 이는 학술 및 산업 환경 모두에 이상적인 솔루션입니다.