판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V #293596350

KOKUSAI DJ-853V
ID: 293596350
웨이퍼 크기: 8"
Diffusion furnace, 8".
KOKUSAI DJ-853V는 반도체 제작 및 기타 재료 처리 응용 분야에 사용하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리 장비입니다. 온도와 시간 조절 온도 프로파일 제어, 컴퓨터 제어 (computer-controlled) 운영 관리, 원격 시스템 모니터링 등 까다로운 운영 환경에서 안정적이고 효율적인 운영을 보장하는 다양한 기능을 제공합니다. KOKUSAI DJ 853V는 강력하고 효율적인 DC (Direct Current) 저항 난방 장치를 특징으로하여 작업 챔버 전체에서 정확한 온도 조절 및 우수한 온도 균일성을 제공합니다. 난방기 (heating machine) 는 고급 세라믹 절연재 (ceramic insulation material) 를 사용하여 광범위한 온도와 공정 시간에 견고하고 안정적인 성능을 제공합니다. 외부 가스 공급 및 가스 공급 제어 옵션도 제공됩니다. DJ-853V는 ± 1 ° C 내에서 제어되는 매우 정밀한 온도 프로파일을 생성 할 수 있습니다. 온도 프로파일 (temperature profile) 및 시간 제어 온도 프로파일 제어 (time-controlled temperature profile control) 를 위해 최대 6 개의 독립 프로그램을 제공하여 전체 난방 주기에 걸쳐 정확한 온도 제어를 허용합니다. 실험실 등급 디지털 제어 온도 컨트롤러는 반복 가능한 열 업 (heat up), 냉각 다운 (cool down) 및 유지 관리 온도 설정을 안정적이고 정확하게 제어합니다. DJ 853V 는 고품질 진공 펌프 (vacuum pump) 및 가스유동 가스 공급 툴을 제공하여 정확하고 일관된 진공 수준과 가스 유량을 제공합니다. 에셋에는 가변 반경 몰리브덴 보트 (Variable-radius molybdenum boat) 모델도 포함되어 있으며, 보트를 전환하지 않고도 매우 다른 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-853V는 또한 컴퓨터 제어 프로덕션 관리 기능 (예: 실시간 온도 모니터링, 프로세스 로깅, 원격 장비 모니터링 및 분석, 강력한 레시피 생성 및 관리 기능) 을 제공합니다. 이를 통해 제품 데이터를 실시간으로 샘플링하고 분석하고, 최적의 제품 성능 (Product Performance) 및 수익률을 보장하기 위해 운영 주기 (Production Cycle) 를 조정할 수 있습니다. 최대 안전 및 운영자 친화적 인 운영을 위해 KOKUSAI DJ 853V에는 자동 인터 록 (interlock), 누출 센서, 과압 센서, 다중 단계 경보 수준의 자동 종료 시스템 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 편리한 자동 제어 기능과 함께 견고한 구성과 고급 온도 조절 기능을 결합한 DJ-853V (DJ-853V) 는 정밀 생산 응용프로그램에 이상적인 확산 용광로 및 액세서리 시스템입니다.
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