판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V-8BL #9309570

KOKUSAI DJ-853V-8BL은 반도체 제조 공정에 사용하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 아노디 화 된 알루미늄 진공실과 고온 및 고진공 응용을위한 견고한 디자인이 특징입니다. 이것 은 "소오스 '물질 로부터 기판 으로 작은 분자 들 을 최적 으로 확산 시켜, 균질 한" 코우팅' 을 만들어 낸다. 최대 1600 ° C의 최대 작동 온도를 제공하며 챔버 벽 두께는 200mm입니다. KOKUSAI DJ853V-8BL은 저항 용접, 수냉식 강철 프레임으로 밀봉되며 전자기 셔터 제어 장비를 사용합니다. 이를 통해 챔버 온도와 우수한 온도 균일성을 정확하게 조정할 수 있습니다. 또한 효율적인 대피 과정을 제공하기 위해 로터리 베인 펌프 (rotary vane pump) 와 적외선 흡수 가스 분석기가 장착 된 다단 진공 시스템을 갖추고 있습니다. DJ-853V-8BL (DJ-853V-8BL) 은 운영자 안전성을 높이기 위해 기계를 종료하는 경보 장치 (alarm unit) 를 장착한다. 또한, 진공 무결성 (vacuum integrity) 을 손상시키지 않고 확산 과정을 시각적으로 관찰 할 수있는 강화 된 미네랄 글라스 창이 특징입니다. DJ853V-8BL은 사용자에게 친숙한 터치 패널 디스플레이를 통해 감독 및 제어할 수 있습니다. 최대 500 개의 프로세스 레시피를 저장할 수 있으며, 화면에서 열 (heat) 과 열 (thermal) 확산을 제어할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 "가스 '는" 가스' 대기 를 "챔버 '내부 에서 정확 하게 조절 할 수 있게 해 준다. KOKUSAI DJ-853V-8BL은 다양한 확산 및 열 프로세스를 제공하며, 각기 다른 확산 및 열 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되었습니다. 도펀트 삽입, 열 처리, 빠른 열 처리, 빠른 어닐링과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 또한 반도체 장치, 평면 패널 디스플레이 기판, 레이저 다이오드, 자기 센서 및 기타 관련 컴포넌트의 제작에 사용됩니다.