판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V-8BL #9010684

KOKUSAI DJ-853V-8BL은 확산 공정을 제조 또는 수행하는 데 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. CVD (chemical vapor deposition) 기기의 한 유형이며 최대 1350 ° C의 큰 온도 범위를 갖습니다. 이 장비 는 가열 속도 가 빠르며, 열 "아닐링 ', 열 처리 및 산화 과정 에 사용 될 수 있다. 853V-8BL에는 2 개의 쿼츠 튜브가 있으며, 각각 핫 존 (hot zone) 과 쿨 존 (cool zone) 이있어 온도 조절이 더 좋습니다. 또한, 용광로에는 온도 변화를 몇 도까지 감지 할 수있는 내장 초저온 모니터링 시스템이 내장되어 있습니다. 853V-8BL에는 쿼츠 웨이퍼 어댑터, 쿼츠 전면 및 스테인리스 베이스가있는 챔버, 원통형 세라믹 서셉터, 가스 분포 매니 폴드 등 다양한 옵션이 있습니다. 가스 분포 매니 폴드는 다양한 유형의 확산 과정에 대한 산소, 수소, 질소 및 이산화탄소를 제어하는 데 사용될 수있다. 쿼츠 웨이퍼 어댑터 (quartz wafer adapter) 는 서셉터에 웨이퍼를 고정시키는 데 사용할 수 있으며, 스테인레스 스틸 베이스 (stainless steel base) 는 서셉터 (susceptor) 에 웨이퍼를 다루고 수송 할 수 있습니다. 853V-8BL (Multi-Zone Controller) 은 사용자가 최대 8 개의 Zone 을 독립적으로 프로그래밍할 수 있는 기능을 제공하는 멀티 Zone 컨트롤러를 포함합니다. 이를 통해 정밀한 온도 조절을 통해 최적화된 확산 프로세스를 허용합니다. 또한, 컨트롤러에는 직관적인 사용자 인터페이스와 대형 디스플레이가 있습니다. 또한 853V-8BL (Safety Features) 에는 실수로 고온에 노출되거나 주변 산화 수준에 노출되지 않도록 보호하는 안전 기능이 포함되어 있습니다. 산소 농도 센서, 온도 센서, 습도 센서 등 다양한 안전 센서가 있습니다. 사용자가 안전하지 않은 조건에 대해 경고하기 위해 경고도 포함됩니다. 853V-8BL의 용량은 최대 8 와퍼 (8 인치 직경) 이며 최대 1350 ° C의 온도를 갖는 다양한 확산 프로세스에 사용할 수 있습니다. 이 제품은 최적화된 확산을 위한 탁월한 온도 조절 기능을 제공하며, 내장형 안전 (Safety) 기능을 통해 매우 안전한 장비를 제공합니다.