판매용 중고 KOKUSAI DJ-853V-8BL #86153

KOKUSAI DJ-853V-8BL은 반도체 및 항공 우주 산업에서 대량 생산을 위해 설계된 확산 로입니다. 고급적이고 신뢰성 있는 엔지니어링 (Engineering) 은 뛰어난 열적 균일성과 프로세스 안정성을 제공하여, 최대의 장치 생산량 및 품질을 얻을 수 있습니다. 대용량 챔버 (chamber) 와 내장 바이패스 (bypass) 를 사용하면 에너지 비용을 절감하고 처리량을 높일 수 있습니다. 퍼니스의 가변 공기 제어 (variable air control) 장비를 사용하면 프로세스 매개변수를 조정하여 장치 성능을 최적화 할 수 있습니다. KOKUSAI DJ853V-8BL 지원 운영자의 산화 기능 및 프로세스 유연성을 통해 실리콘, 텅스텐, 알루미늄 재료를 처리하고 최상위 장치 성능을 얻을 수 있습니다. 온도와 웨이퍼 너비는 각각 100 ° C ~ 900 ° C 및 12 "(304mm) ~ 200mm입니다. 또한, 고급 히터 설계 및 균일성 제어는 정확한 온도 조절 및 안정성을 보장합니다. 또한, 동적 압력 제어 및 진공 배기 설비는 훌륭한 프로세스 기능을 제공합니다. 액세스 가능성 측면에서 DJ-853V-8BL 은 프로세스 제어 및 모니터링 시스템, 수동 원격 제어판 (Manual Remote Control Panel) 을 통해 매개변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 사용자 친화적 인터페이스가 통합된 이 퍼니스는 명확한 작동 지침 (Operating Instruction) 과 작동 표시 (Operation Indications) 를 제공합니다. 퍼니스의 열 및 배기 시스템 (heat and exhaust system) 은 고급 자동 레벨 링 웨이퍼 배치/제거 장치 및 최소 열 손상을 보장하는 전송 로드 시스템 (transfer rod system) 과 결합 된 우수한 히터로 구성됩니다. 확산 용광로 의 유지 는 또한 소모량 이 최소화 된 부품 으로 매우 쉬우며, 무브러시 (brushless) DC 모터 장치 (motor unit) 는 지속적 이고 신뢰 할 만한 작동 을 한다. DJ853V-8BL은 CE 표준을 준수하는 반면 안전 측정은 작동 중 최대 안전성을 보장합니다. 고급 석영 유리 도어 및 인터 록 머신 (Interlock Machine) 은 가스와 액체 누출을 방지하도록 설계되었습니다. 또한 자동 카세트 로더 (cassette loader) 도구를 사용하여 기판을 빠르게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 또한, 에셋은 보호 및 효율적인 처리를 강화하기위한 딥 쿼츠 튜브 (deep quartz tube) 를 갖추고 있습니다. 전반적으로 KOKUSAI DJ-853V-8BL은 생산 프로세스에 대한 효율적이고 신뢰할 수있는 솔루션을 찾는 사람들에게 이상적인 확산 로입니다. 고급 엔지니어링, 자동 기능, 안전 측정 (Safety Measure) 을 통해 고품질 프로세스와 최적의 수율을 달성할 수 있습니다.