판매용 중고 KOKUSAI DJ-853 #293805539

KOKUSAI Electric Corporation에서 생산 한 KOKUSAI DJ-853 확산 로는 광범위한 확산 공정의 생산에 적합한 6 인치 사각형 챔버를 갖춘 완전 자동 확산 로입니다. 이 장비는 비용 효율성, 효율성, 운영 용이성을 고려하여 설계되었으며, 높은 품질과 안정적인 결과를 제공합니다. 고온의 흑연 웨이퍼 보트 (흑연 웨이퍼 보트) 와 흑연 카프톤 (Kapton) 지원 모듈 (확산 과정 중 웨이퍼 유지) 이 특징입니다. DJ-853 확산 로에는 벨트 구동 용광로 컨베이어 (conveyor) 가 장착되어 있어 용광로 챔버에 웨이퍼를 자동으로 공급합니다. 온도 조절은 2 개의 열전대 (챔버 내부 1 개, 외부 1 개) 를 통해 조절되며, 실리콘 웨이퍼 및 흑연 웨이퍼 보트에 정확하고 안정적인 온도를 제공합니다. 또한, 2 차 산화 시스템은 각 공정에 대해 원하는 산화 수준을 정확히 제공합니다. 이 장치에는 단일 측면 난방 기능이 있으며, 여기서 와퍼 후면에는 1.25 인치 (1.25 인치) 너비의 단일 흑연 히터 블록을 사용할 수 있습니다. 이 히터 블록 (heater block) 은 분리 가능하므로 정렬을 조정하고 전체 난방 과정에서 완벽한 균일 성에 도달 할 수 있습니다. 또한 기계는 저압 (0.5 Torr까지) 및 고압 (최대 15 Torr) 작업을 모두 할 수 있습니다. 최대 웨이퍼 투 웨이퍼 반복성을 달성하기 위해 공정 가스는 중력적으로 공급됩니다. KOKUSAI DJ-853 도구는 모니터링 목적으로 고급 모니터링 자산을 보유하고 있으며, 여기에는 프로세스 진행 상황 및 상태를 표시하기 위한 12 인치 LCD 패널이 포함됩니다. 이 모델에는 실시간 프로세스 데이터 추적 (real-time process data tracking) 을 제공하는 배기 모니터링 장비와 항상 균일성을 보장하는 wafer-check 시스템이 포함됩니다. 또한, 내장 열 전도성 모니터링 장치를 사용하여 언더컷을 방지하고 웨이퍼 레벨 최적화를 보장할 수 있습니다. 요약하면, DJ-853 확산 로는 고정밀 실리콘 웨이퍼 확산 공정을 위해 완전히 자동화 된 최첨단 기계입니다. 이 도구에는 고급 모니터링 시스템, 고온 흑연 웨이퍼 보트, 정확한 공정 가스 공급 자산, 조정 가능한 단면 난방 기능 (최대한의 품질 및 정확성) 이 포함됩니다. '비용 효율성' 과 '작동 편의성' 을 통해 광범위한 태양광 장치 생산에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.