판매용 중고 KOKUSAI DJ-853 #155816

KOKUSAI DJ-853은 민감한 반도체 장치 제조 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 확산 로입니다. 직경 8 인치까지 웨이퍼를 수용 할 수 있으며 -20 ° C ~ 1200 ° C의 편리한 작동 온도 범위를 갖습니다. DJ-853 (DJ-853) 에는 종 타입 뚜껑으로 봉인 된 불완전한 알루미나 라이너가있는 균일 한 공정 챔버가 있습니다. 활성 리프팅 (Active Lifting) 장비는 일관된 이동을 보장하며 히터는 균일 한 난방 전력 분배를 보장합니다. 질소 및 수소의 포화 증기 압력은 쉽게 제어 할 수 있으며, 초저저 피로 겐 대기를 제공합니다. 히터는 수동 프로그래밍 또는 프로그래밍 가능한 매개 변수로 자동 모드로 작동 할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-853은 (는) 확산 기능 외에도 사용자 보호를 강화하는 여러 가지 안전 기능도 갖추고 있습니다. 히터는 베이클라이저 (Bakelizer) 시스템으로 설계되었으며, 이 시스템은 고주파 방사선으로부터 사용자를 보호하기 위해 배출량을 억제하는 작고 저전압 세라믹 절연 패널을 사용합니다. 크고 내구성이 뛰어난 석영 창으로 프로세스 챔버 (Process Chamber) 를 항상 쉽게 볼 수 있습니다. 클램프와 벨 뚜껑은 견고한 순수한 몰리브덴 (molybdenum) 재료로 만들어졌으며 밀폐물을 보장하기 위해 고성능 온도 감지 회로가 장착되어 있습니다. 온보드 전원 공급 장치 (Onboard Power Supply) 는 변동하는 라인 전압에서도 안정적인 가열을 보장하는 동적 전류 조정 기능으로 설계되었습니다. 또한 DJ-853 에는 확산 기능을 지원하기 위해 광범위한 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 진동 방지 작업 스탠드 및 샘플 이동을 방지하는 비품이 포함됩니다. 최대 3 개의 용광로를 지원하는 카트 마운트 시스템; 언로드 전에 신속한 냉각을 보장하는 오프라인 냉각 장치; 다중 용광로 제어 머신 (multi-furnace control machine) 을 사용하여 여러 용광로를 동시에 제어할 수 있습니다. 또한 KOKUSAI DJ-853 은 사용자 프로세스를 종합적으로 분석하기 위한 직관적인 작업, 데이터 분석, 도구 진단 기능을 갖춘 강력한 소프트웨어 패키지를 자랑합니다. 결론적으로, DJ-853 (DJ-853) 은 까다로운 반도체 소자 제조 용도에 적합한 신뢰할 수있는 열 처리 도구입니다. 탁월한 확산 기능, 탁월한 안전 기능, 사용자 편의성을 위한 광범위한 액세서리 (accessory) 를 제공합니다.