판매용 중고 KOKUSAI DJ-835V #293774760
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코쿠사이 DJ-835V (KOKUSAI DJ-835V) 는 집적회로 제조에서 반도체 재료를 정확하고 효율적으로 처리하도록 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 정교한 장비는 뛰어난 균일성 (unifority) 과 제어 (control) 로 대량의 웨이퍼를 처리할 수 있으며, 고성능 확산 기능이 필요한 반도체 제작 설비에 이상적인 솔루션입니다. 코쿠사이 DJ 835V (KOKUSAI DJ 835V) 는 용광로 건설부터 고품질 소재· 부품으로 제작돼 내구성과 열안정성을 보장한다. 용광로 챔버는 일반적으로 석영 또는 탄화 실리콘 (silicon carbide) 으로 만들어져 고온 및 화학 반응에 대한 뛰어난 내성을 제공합니다. "와퍼 '표면 에 열 을 균등 하게 분배 하도록 약실 내 의 가열" 요소' 를 주 의 깊이 설계 하여 일관성 있는 처리 결과 를 보장 한다. DJ-835V (DJ-835V) 의 주요 특징 중 하나는 고급 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 으로, 확산 과정에서 열 프로파일을 정확하게 조정할 수 있습니다. 이 장치에는 웨이퍼 전체의 온도 변화를 모니터링하고 조절하기 위해 여러 가열 구역 (heating zone) 과 열전대 (thermocouple) 가 장착되어 있습니다. 이 제어 수준은 균일 한 도펀트 프로파일 (dopant profile) 을 달성하고 처리 된 웨이퍼 중 전기 특성의 변화를 최소화하는데 필수적입니다. 온도 조절 외에도, DJ 835V 는 다양한 확산 프로세스를 지원하기 위한 다양한 가스 전달 (gas delivery) 및 혼합 옵션을 제공합니다. 이 기계는 일반적으로 정확한 가스 흐름 측정 및 제어를 위해 질량 흐름 컨트롤러 (Mass Flow Controller) 로 구성되어 일관되고 반복 가능한 처리 조건을 보장합니다. 용광로 에는 또한 "도펀트 '종 을" 웨이퍼' 표면 에 제어 하여 정밀 한 확산 "프로파일 '을 조종 하는" 가스' 분포 도구 가 갖추어져 있다. 생산성과 처리량을 높이기 위해 KOKUSAI DJ-835V는 웨이퍼 로딩 및 언로드 프로세스를 간소화하는 자동화 기능으로 설계되었습니다. 이 자산은 용광로 챔버 (furnace chamber) 내에서 원활한 웨이퍼 전송을 위해 로봇 처리 시스템과 통합되어 사이클 시간 (cycle time) 을 줄이고 운영 효율성을 높일 수 있습니다. 또한, 용광로에는 특정 프로세스 요구 사항에 대한 확산 레시피를 프로그래밍하고 최적화 할 수있는 고급 소프트웨어 제어 (Advanced Software Control) 가 장착되어 있습니다. 주요 확산 로를 보완하는 KOKUSAI DJ 835V에는 다양한 액세서리 (액세서리) 와 옵션 (기능성 향상) 도 포함되어 있습니다. 여기에는 고순도 처리 환경 유지를위한 가스 정화기, 챔버 대피를위한 진공 펌프, 실시간 프로세스 데이터 수집 및 분석을위한 모니터링 시스템 (monitoring system) 이 포함될 수 있습니다. 빠른 열 처리 기능 (Rapid Thermal Processing) 및 웨이퍼 매핑 도구 (Wafer Mapping Tools) 와 같은 옵션 기능은 다양한 애플리케이션 요구에 맞게 모델의 기능을 더욱 확장합니다. 결론적으로, DJ-835V 확산 로는 뛰어난 성능, 정밀도, 신뢰성을 제공하는 반도체 제조용 최첨단 도구입니다. 혁신적인 설계, 고급 온도 조절 (Advanced Temperation Control), 자동화 (Automation) 기능을 통해 고품질 집적회로를 생산하기 위한 탁월한 확산 기능을 원하는 반도체 패브에 이상적인 솔루션이 됩니다. DJ 835V 는 견고한 구성, 다양한 액세서리, 사용자 친화적인 소프트웨어 인터페이스를 통해 반도체 업계의 확산 용광로 (DJ 835V) 기술에 대한 새로운 표준을 제시합니다.
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