판매용 중고 KOKUSAI DJ-835V #293773924
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ID: 293773924
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Vertical furnace, 8"
Deposition: Nitride / D-POLY
Gas box
Heater
Gas pipes
Accessories
1997 vintage.
KOKUSAI DJ-835V는 반도체 웨이퍼의 열 처리를 정확하게 제어하는 고급 확산 로입니다. 반도체 업계를 위한 열 처리 솔루션의 선두 업체인 KOKUSAI Semiconductor Equipment Corporation이 설계 및 제조한 KOKUSAI DJ 835V는 최신 반도체 제조 설비의 까다로운 요구 사항을 충족시키기 위해 설계되었습니다. 이 최첨단 로에는 다양한 기능과 기능이 장착되어 있어 산화, 어닐링 (annealing), 도펀트 재료 확산 (dopant material) 등 다양한 확산 프로세스에 이상적입니다. DJ-835V 중심에는 고성능 가열 장비 (HPT) 가 있는데, 이 가열 장비는 웨이퍼 (Wafer) 표면에서 균일 한 온도 분배를 허용하는 여러 가열 구역으로 구성됩니다. 따라서 일관되고 안정적인 열 처리를 보장하며, 재료 특성 및 장치 성능의 변화를 최소화할 수 있습니다. 이 용광로 에는 또한 정확 한 온도 조절 장치 (temperate control system) 가 갖추어져 있는데, 이 "시스템 '은 사용자 들 이 원하는 공정 온도 를 정하고 유지 할 수 있게 해 준다. 이러한 제어 수준은 확산 과정에서 원하는 재료 특성 (material properties) 과 디바이스 특성 (device characteric) 을 달성하는 데 매우 중요합니다. DJ 835V 는 고급 난방 (heating) 및 온도 조절 기능 외에도 대용량 웨이퍼 보트로, 배치 처리를 위해 여러 웨이퍼를 수용할 수 있습니다. 따라서 처리량 및 효율성을 높일 수 있어 대용량 운영 환경에 적합합니다 (영문). 웨이퍼 보트 (wafer boat) 는 최적의 가스 흐름 및 웨이퍼로의 열 전달을 보장하고 프로세스 균일성을 극대화하도록 설계되었습니다. 또한, 퍼니스에는 강력한 가스 분배기 (gas distribution unit) 가 장착되어 프로세스 가스의 흐름 속도와 혼합물을 정확하게 제어하고, 프로세스 제어 및 반복 성을 더욱 향상시킵니다. KOKUSAI DJ-835V 는 또한 여러 개의 인터 록 (interlock) 과 경보 (alarm) 를 포함하는 종합적인 안전 머신을 장착하여 안전한 작동을 보장하고 사용자 및 장비를 잠재적 위험으로부터 보호합니다. 이 용광로는 엄격한 안전 기준 (Safety Standard) 및 규정을 충족하도록 설계되었으며, 근로자 안전 및 장비 신뢰성을 우선시하는 반도체 제작 설비에 사용하기에 적합합니다. 고쿠사이 (KOKUSAI) 는 고품질, 신뢰성 있는 열 처리 장비를 제공하는 검증된 실적을 보유하고 있으며 KOKUSAI DJ 835V도 예외가 아닙니다. 고쿠사이 (KOKUSAI) 는 확산 용광로 (diffusion fornace) 자체를 비롯해 다양한 액세서리와 옵션을 제공하여 고객의 구체적인 요구를 충족할 수 있습니다. 여기에는 가스 흐름 컨트롤러, 압력 조절기, 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 소프트웨어 도구가 포함됩니다. 이 회사는 또한 종합적인 교육/지원 서비스를 제공하여 고객이 장비를 최대한 활용하고 최적의 프로세스 결과를 얻을 수 있도록 돕습니다 (영문). 전반적으로, DJ-835V는 반도체 웨이퍼의 정확하고 안정적인 열 처리를 위해 고급 기능을 제공하는 고성능 확산로 (DJ-835V) 입니다. DJ 835V 는 최첨단 난방 도구, 온도 조절 기능, 안전 메커니즘을 통해 반도체 제조 설비의 다양한 확산 프로세스에 적합합니다. 고쿠사이 (KOKUSAI) 는 코쿠사이 (KOKUSAI) 의 DJ-835V 설계· 성능에 있어 탁월한 공정 제어와 생산량을 달성하고자 하는 반도체 제조업체에게 귀중한 도구다.
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