판매용 중고 KOKUSAI DJ-825V-8L #9145517

KOKUSAI DJ-825V-8L은 반도체 및 전자 웨이퍼 제작의 열 처리에 사용되는 고급 확산 용광로 장비입니다. 고속 확산 주기를 위해 고온 처리 기능과 빠른 온도 사이클링을 모두 제공합니다. 이 장치에는 큰 석영 처리 챔버 (quartz processing chamber) 가 있어 전자 부품의 안전하고 효과적인 처리가 가능합니다. DJ-825V-8L은 강력하고 효율적인 난방 시스템을 갖추고 있으며 4 개의 핫 존 난방 요소와 8 개의 온도 영역이 있습니다. 이러한 각 영역은 고급 PID 온도 제어 알고리즘을 사용하여 개별적으로 제어되고 검증됩니다. 이 설정은 전체 웨이퍼 전체에서 정확하고 균일 한 가열을 허용합니다. 핫 존 (hot zone) 요소는 최소한의 열 손실을 보장하는 절연 석영 튜브로 둘러싸여 있습니다. 석영 튜브를 사용하면 최대 1280 ° C의 온도를 달성 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 질량 흐름 밸브, cryodynamics 및 분할 된 웨이퍼 홀더와 같은 다양한 가구 및 온도 조절 액세서리를 제공합니다. 질량 흐름 밸브 (Mass Flow Valves) 는 웨이퍼에 대한 흐름과 누출 보호를 완벽하게 제어하는 반면, 극역학 (Cryodynamics) 프로세스는 정확한 열 사이클링을 허용합니다. 분할 된 "웨이퍼 '홀더 는 서로 의 여러 가지 처리 단계 를 정확 하게 격리 시키고, 한" 웨이퍼' 의 오염 을 다른 "웨이퍼 '로부터 방지 하는 데 사용 된다. KOKUSAI DJ-825V-8L은 또한 처리 요구에 맞는 높은 수준의 안전성과 정확성을 제공합니다. 이 장치는 온도와 전류 감지 (current detection) 를 포함한 여러 안전 (safety) 프로토콜을 사용하여 장치의 안전한 성능을 보장합니다. 또한, 이 시스템은 고객 워크플로우를 최적화하고 열 처리에 필요한 시간을 단축하도록 설계되었습니다. DJ-825V-8L은 반도체 및 전자 제조에 이상적인 확산 로입니다. 빠른 확산 주기를 위해 높은 온도와 빠른 온도 사이클링을 제공합니다. 핫 존 (hot zone) 요소, 질량 (mass) 흐름 밸브 및 cryodynamics의 조합으로 다양한 열 처리 응용 분야에 사용될 정도로 다재다능합니다. 마지막으로, 고급 안전 프로토콜과 최적화된 처리 시간을 갖춘 KOKUSAI DJ-825V-8L은 모든 생산 요구에 적합한 안정적이고 효율적인 확산 광로 도구입니다.