판매용 중고 KOKUSAI DJ-823V-8BL #9028267

KOKUSAI DJ-823V-8BL은 확산 로와 부속 액세서리 장비로, 반도체 웨이퍼의 집적 회로 제작에 사용하도록 설계되었습니다. 멀티 존 (multi-zone) 쿼츠 튜브, 내부 컨베이어 시스템, 열 제어 장치 및 엔드 이펙터 머신이있는 히터로 구성됩니다. "히터 '는 기질 을 원하는 온도 로 균일 하게 가열 시키도록 설계 되었으며, 신속 히 가열 하여 고온 으로 가열 할 수 있다. 프레임에 의해 지원되고 진공 도구를 사용하여 전체 웨이퍼에 균일 한 붕소 (boron) 또는 인 (phosphorous) 확산을 보장합니다. 멀티 존 (multi-zone) 쿼츠 튜브는 효율적인 열 전달을 보장하며 각 존에서 균일 한 온도를 유지합니다. 또한 "쿼츠 '관 은 가동 중 에 용광로 에 도입 되는 공정" 가스' 의 손실 을 최소화 한다. 내부 컨베이어 (conveyor) 자산은 에칭과 냉각을 위해 영역 간 웨이퍼를 이동하는 데 사용됩니다. 끝 이펙터 (end effector) 는 웨이퍼가 원하는 위치에 올바르게 배치되고 제자리에 고정되도록 합니다. 열 제어 모델 (thermal control model) 은 기판 온도가 허용 한계 내에서 모니터링 및 유지되도록 보장하여 성공적이고 반복 가능한 확산 프로세스를 보장합니다. 또한 가공 중인 물질의 적절한 증착 및 에칭을 보장하기위한 석영 압력 챔버 (quartz pressure chamber) 가 포함되어 있습니다. DJ-823V-8BL 은 클린 (clean) 환경에서 작동하도록 설계되었으며, 확산 처리 전에 WAFER 가 깨끗하도록 클리닝 장비를 갖추고 있습니다. 또한 먼지 및 기타 오염 물질로부터 보호하기 위해 보호 외부 케이스를 포함합니다. KOKUSAI DJ-823V-8BL은 복잡한 집적 회로 장치의 제작에 사용하도록 설계되었습니다. 열 조절 시스템 (thermal control system) 은 확산 처리 중 기판의 균일 한 가열과 재료의 효율적인 사용을 보장합니다. 끝 이펙터 장치 (End effector unit) 는 웨이퍼를 안전하게 고정하고 내부 컨베이어 머신은 에칭과 냉각 중에 필요한 경우 영역 사이에서 이동합니다. 청소 도구 (cleaning tool) 는 확산 전에 웨이퍼가 깨끗해지도록 보장하고, 보호 외부 케이스는 먼지 및 기타 오염 물질에 대한 추가 보호 기능을 제공합니다. DJ-823V-8BL (DJ-823V-8BL) 은 신뢰할 수 있는 확산 로와 부속 액세서리 자산으로, 광범위한 반도체 제작 어플리케이션에 적합합니다.