판매용 중고 KOKUSAI DJ-813V #293652777

코쿠사이 DJ-813V (KOKUSAI DJ-813V) 는 반도체, 태양광 태양 전지 및 기타 산업의 가장 발전된 기술 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 단일 웨이퍼 (single-wafer) 저온 프로세스는 기존 시스템에 비해 최대 3 배의 성장률을 제공하며, 이는 업계 선두주자의 품질에 해당합니다. 용광로에는 고급 프로세스 제어가 장착되어 있어 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 모듈식 설계를 통해 사용자는 최대 4 단계 (zone) 까지 자신의 레시피를 제출할 수 있는 유연성을 제공합니다. DJ-813V는 공랭식 척에 설치된 2 개의 자체 조절 용광로 요소로 가열되는 쿼츠 튜브 (quartz tube) 를 특징으로하여 최대 1350 ° C의 빠르고 균일 한 가열 프로세스를 가능하게합니다. 그것 은 확산 온도 를 정확 하게 조절 할 수 있으며, 그 결과 정교 하게 정확 한 온도 "프로파일 '이 된다. 가스 분배 장비는 균일 한 가스 흐름 및 심지어 반응물의 분포를 허용합니다. 용광로 를 깨끗 하고 능률적 으로 유지 하기 위하여, 여러 개 의 4 "웨이퍼 '를 운반 할 수 있는 흑연" 보우트' 를 수동 으로 적재 하여 언로드 할 수 있다. 또한 "웨이퍼 '가 고온 에 너무 가까이 있지 않도록 하기 위해" 쿼츠 튜브 도어' 에 근접 "센서 '(옵션) 가 설치 되어 있다. 내부 "챔버 '에는 기온 초과 의 경우, 자동으로 장치 를 차단 할 수 있는 경보" 시스템' 도 갖추어져 있다. 안전성을 강화하기 위해, 이 고성능 확산 로에는 수정 된 견고한 쿼츠 튜브 구조 및 PID 제어가 장착되어 챔버-챔버 온도 변화를 최소화합니다. 마지막으로, KOKUSAI DJ-813V에는 EtherNet/IP, ModBus 및 USB와 같은 다양한 인터페이스 및 통신 포트가 장착되어 있으며, 이를 통해 사용자는 원격 프로그래밍 및 데이터 기록 시스템을 액세스할 수 있습니다. 터치스크린 컨트롤러를 사용하면 쉽게 컴퓨터를 탐색하고 레시피를 입력할 수 있습니다. 이 설정을 통해, 사용자는 성능을 저하시키지 않고, 어디서나 용광로에 안전하게 액세스하고 제어할 수 있습니다.